SRG 磁悬浮转子真空计,高精度的真空测量
上海伯东 ph-instruments 磁悬浮转子真空计中国总代理, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的真空测量, ph-instruments SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性. SRG 磁悬浮转子真空计在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蚀抗污染, 长期稳定. 提供多种型号
ph-instruments 真空计主要应用场景
半导体制造: 离子注入, 干法刻蚀, 物理 / 化学气相沉积, 脱气腔体 (SRG 转子规擅长氢气氛围监测, 抵抗工艺薄膜沉积.)
低温真空领域: 低温储罐, 液氢输送管路, 真空绝热系统 (SRG 转子规分体无源传感器, 适配超低温环境.)
制药真空冻干: Tri‑Clover 卫生法兰可选, 支持高温灭菌, 长期稳定监测.
真空计校准系统: 计量级真空规, 用于对各类真空计传感器 (包括电容薄膜规, 电离规, 电阻规, 热偶规等）进行全量程, 高精度的计量检定与校准.
科研高能物理, 离子束, 分子束装置 (SRG 传感器与电控单元远距离分离, 屏蔽辐射与等离子干扰.)
计量级真空规, 高度准确和稳定的真空测量, 不仅仅定位为传统真空计的替代品, SRG 磁悬浮转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性
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