SRG 磁悬浮转子真空计,高精度的真空测量
上海伯东 ph-instruments 磁悬浮转子真空计, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的真空测量, ph-instruments SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 应用并提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏, 科研等高精密应用中的良率和产品质量.
SRG 磁悬浮转子真空计在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蚀抗污染, 长期稳定. 提供多种型号
ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计原理简单: 测量管 (内置一个 4.5 mm 滚珠轴承球作为压力传感器), 根据需要安装测量头. 机头通过电磁力与球相互干扰, 无触点测量旋转球在运行过程中的旋转频率变化.
计量级真空规, 高度准确和稳定的真空测量, 不仅仅定位为传统真空计的替代品, SRG 磁悬浮转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性
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