基于 SRG 旋转转子量规技术的, 长期稳定的, 计量级真空计校准系统.
技术参数
上海伯东代理德国 ph-instruments ION Check 真空规校准系统, 基于 SRG 旋转转子量规技术的长期稳定真空校准系统.
ph-instruments ION Check 真空规校准系统适用于校准和比较高真空计. 结构紧凑, 设计包含无油高真空系统 Hicube 80, 气体计量单元, 读取和校准具有模拟输出的真空表的硬件和软件.
ION Check 真空规校准系统技术规格
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测量原理 |
旋转转子压力表 |
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可调压力范围 |
5X10-7 mbar 至 1X10-2 mbar (最大 1 mbar) |
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精度 |
0.1 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1% |
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测量时间 SRG |
3, 5, 10, 20, 30 秒 |
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单次循环时间 |
< 1 秒 |
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长期稳定性 |
< 每年 1% 漂移 |
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DUT 数量 |
2个 |
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接口 |
KF 25 |
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高真空泵组 |
Hicube 80 Eco DN 63 CF-F |
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旁通泵 |
隔膜泵 |
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数字接口 |
USB-C, 蓝牙(可选), RS 232, RS 485, 网络接口 |
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软件 |
Win10, ION Check APP |
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兼容插头（包括电缆） |
MKS/GP 354, MKS /GP 355, MKS 971B |
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通用插头 |
CC/HC/皮拉尼, 带 24 VDC 电源和 0-10 VDC 模拟输出（可根据要求提供电缆） |
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校准气体（可选） |
N2 （可根据要求提供） |
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