HVA 三位真空闸阀 21700 系列

HVA 三位真空闸阀, 完全打开,完全关闭, 以及一个可调节的中间位置
机械预设, 遥控过渡阀位
三个位置都有指示器
标准或者定制法兰
至少一百万使用周期
任意位置安装

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HVA 三位真空闸阀 21700 系列口径: DN 100-320 mm

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上海伯东美国 HVA 三位真空闸阀21700 系列适用于刻蚀, CVD, 真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业. HVA 三位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时, 提供异常压力控制功能, 也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡.

HVA 三位真空闸阀 21700 系列采用两个气动电磁阀和一个气压调节器控制阀门的3种开启方式: 完全打开,完全关闭以及一个可调节的中间位置.

美国 HVA 三位真空闸阀 21700 系列技术参数：

阀门材质：
阀门主体	304 不锈钢
焊接波纹管轴封	AM-350
驱动轴和驱动销	硬质不绣钢
阀门密封方式：
高真空	氟橡胶
漏率	<2×10^-9 mbar l/s
差压关闭	1 bar
真空：
压力范围	高真空1x10^-9 mbar
漏率	< 2x10^-9 mbar l/S
差压关闭	1 bar (任意位置)
开启前最大压力	≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）：
阀门主体	150 °c
驱动方式	气动 60 °c
使用寿命：100,000启闭次数
公称通径：DN100-320 mm

上海伯东美国 HVA 高真空和超高真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！

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