1. 高灵敏度二次离子检测光学系统
2. 悬浮电位离子枪适于浅注入层分析
3. 对大气污染物组分具有低检出限
4. 绝缘体深度分析
5. 高精度自动样品台
动态二次离子质谱仪 ADEPT-1010
技术规格
上海伯东代理 ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计, 是大多数半导体开发和支持实验室的常用工具. ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪通过优化的二次离子收集光学系统和超高真空设计, 提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度.
PHI 动态二次离子质谱仪 ADEPT-1010 特点
1. 高灵敏度二次离子检测光学系统
2. 悬浮电位离子枪适于浅注入层分析
3. 对大气污染物组分具有低检出限
4. 绝缘体深度分析
5. 高精度自动样品台
动态二次离子质谱仪 ADEPT-1010 应用场景
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ADEPT-1010 非常适合超浅离子注入样品的深度剖析, 例如右图显示的是使用 500V O2离子束对 B元素注入进行深度剖析的结果 |
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ADEPT-1010 的 UHV 设计对薄膜结构中的大气污染物提供了低检出限. |
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用户可以使用 SIMetric™ 仪器软件对测试方案进行快速编程, 实现无人值守的自动分析 |
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上海伯东代理 ADEPT-1010 型四级杆动态 SIMS 采用独特的二次离子提取系统, 该系统能够提高二次离子传输性能.高的离子传输性能提高了深度分析的检测限, 使得 ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪能够出色完成对离子注入结构的深度和剂量检测任务. 这些离子注入过程中的关键参数测试的重复性精度可以控制在几个百分点, 符合半导体行业的需求.
动态二次离子质谱仪 ADEPT-1010 场地和环境要求
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净重 |
1,350 kg |
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装运重量 |
大约 2,400 kg |
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实验室入口尺寸 |
宽度大于 110 cm, 高度大于 200 cm |
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电力 |
200-230VAC, 50/60 Hz,50 A 单相, 需要接地线 |
ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪的超高真空检测环境有助于对低浓度大气污染物进行深度剖析, 同时保持了出色的深度分辨率和低溅射率. 这种检测能力对于高速半导体器件的检测信息完整性而言至关重要.应用 SIMetric软件, 实现高效快速测试的同时, ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪能够自动分析分析多个样品. 实现无人值守.
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
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