2026-02-03 更新
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上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计适用于半导体工艺中的精确真空监测
上海伯东代理德国 PH-Instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀和沉积, 高精度测量的同时长期稳定, 替代传统真空计, 满足半导体工艺中的精确真空压力监测需求.
SRG 磁悬浮转子真空计在半导体工艺中的应用优势:
与离子规(冷阴极或热阴极)对比, 离子规与电容真空计在真空干燥固化 ( Vacuum Dry, VCD) 及半导体离子注入 (Implantation) 制程中, 易受温度, 制程物质污染的影响, 面临被污染和失真等问题, 导致测量值不准确和制程不稳定. 上海伯东 SRG (Spinning Rotor Gauge, SRG) 磁悬浮转子真空计, 全金属设计,真空内部没有电气穿透件, 作为更稳定, 更精确且更具抗污染能力的替代方案, 在严苛的制程环境中能提供卓越的性能, 有效提升制程可靠性和产品良率.
在半导体离子注入工艺中, SRG 磁悬浮转子真空计零失误, 零偏差, 精准测量
下图是在离子注入工艺中的评估数据示意图. 离子规 (红色) 与 SRG 转子规 (绿色) 的压力读数对比图. 红色箭头指示了离子规的更换情况.
推荐使用 SRG 磁悬浮转子真空计 DosiTorr extend config: 测量头和电子设备分离设计
在半导体工艺中, 上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计可以替代 Granville Phillips, MKS, Inficon, AMAT 等品牌的真空规.
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测量原理 |
SRG 旋转转子技术 |
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测量范围 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %; |
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长期稳定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
不锈钢 |
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安装方式 |
水平 |
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模拟接口 |
USB Type C, 蓝牙, 15pin |
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数字接口 |
USB, 蓝牙, RS 232, RS 485 |
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反应时间（快速模式） |
1 秒 |
SRG 旋转转子真空计具有「NIST可追溯性」, 表示其在计量校正上的优越性. 如果 SRG 足够准确和稳定以校准其他高真空计, 那么它本身就具备了更苛刻的直接制程测量所需的质量.
上海伯东 SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.
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