对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
涡轮分子泵 HiPace 1800 抽速: 1450 l/s
簡介
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
技术规格
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1800，抽速可达 1450 l/s 的高性能涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, Pfeiffer HiPace 1800 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 带有气体密封阀 24 V DC的集成型气体密封系统.
涡轮分子泵 HiPace 1800 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
分子泵 HiPace 1800 技术参数：
|
型号 |
接口 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最高启动压强mbar |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动 |
重量 |
|||
|
进气 |
排气 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
Hipace 1800 |
200 |
40 |
1,450 |
1,650 |
1,700 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
33 – 34 |
涡轮分子泵 HiPace 1800 C 系列：抗腐蚀设计，专为腐蚀性气体应用环境而设计研发
涡轮分子泵 HiPace 1800 U 系列：可以倒装
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
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