Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2300

簡介

HiPace 2300 分子泵对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
运行数据监控形成的运行安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统

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技术规格

上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2300, 抽速最高可达 2050 l/s 高性能涡轮分子泵. 分子泵通过保护等级 IP54 认证. 高抽速和气体吞吐量. 集成驱动电路, 分子泵 HiPace 2300 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业. 通过分子泵控制器, 监控操作数据保证分子泵的安全性. 集成水冷系统. 分子泵 HiPace 2300 提供防腐蚀款 C 和倒置款 U 供选择. 对标 Edwards STP 磁悬浮分子泵.

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 2300 技术参数

型号	HiPace 2300 TC 1200 DN 250 ISO-K	HiPace 2300 TC 1200 DN 250 ISO-F	HiPace 2300 TC 1200 DN 250 CF-F
Ar 压缩比	>1X10⁸	>1X10⁸	>1X10⁸
H₂ 压缩比	2X10⁴	2X10⁴	2X10⁴
He 压缩比	3X10⁵	3X10⁵	3X10⁵
N₂ 压缩比	>1X10⁸	>1X10⁸	>1X10⁸
最大预抽真空, N₂hPa	1.8	1.8	1.8
Ar全转速时气体流量hPa l/s	16	16	8
H₂全转速时气体流量hPa l/s	>50	>50	30
H_e全转速时气体流量hPa l/s	>30	>30	16
N₂全转速时气体流量hPa l/s	28	28	11
操作电压 V AC	90-265	90-265	90-265
最大电流 A	10	10	10
允许最大磁场 mT	7	7	7
Ar抽速l/s	1800	1800	1800
H₂抽速l/s	1850	1850	1850
H_e抽速 l/s	2000	2000	2000
N₂抽速l/s	1900	1900	1900
转速 ± 2 % rpm	31500	31500	31500
启动时间 min	4	4	4
极限真空 hPa	1X10-7	1X10-7	5X10-10
重量 kg	35.5	36.6	51.8

标准款涡轮分子泵 HiPace 2300 在售型号
高工艺适用性, 防止进入颗粒

进气口	分子泵控制器	I/O接口	集成电源包	资料下载
DN 250 ISO-K	另配 TCP 1200	TCP 1200	-
DN 250 CF-F	另配 TCP 1200	TCP 1200	-
DN 250 ISO-F	另配 TCP 1200	TCP 1200	-
DN 250 ISO-K	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 CF-F	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 ISO-K	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 CF-F	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 CF-F	TC 1200	E74, RS-485	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	E74, RS-485	是
DN 250 ISO-K	TC 1200	E74, RS-485	是

涡轮分子泵 HiPace 2300 U 在售型号
安装位置: 高架 (90°-180°)

进气口	分子泵控制器	I/O接口	集成电源包	资料下载
DN 250 ISO-K	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 CF-F	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 ISO-K	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 CF-F	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 ISO-K	TC 1200	E74, RS-485	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	E74, RS-485	是
DN 250 CF-F	TC 1200	E74, RS-485	是

耐腐蚀涡轮分子泵 HiPace 2300 C 在售型号
专为腐蚀性气体而设计, 带有附有涂层转子和耐腐蚀性气体的工作流体, 非常适用于腐蚀性气体应用

进气口	分子泵控制器	I/O接口	集成电源包	资料下载
DN 250 ISO-K	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 CF-F	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 ISO-K	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 CF-F	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 ISO-K	TC 1200	E74, RS-485	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	E74, RS-485	是
DN 250 CF-F	TC 1200	E74, RS-485	是

耐腐蚀, 90°-180°安装位置涡轮分子泵 HiPace 2300 UC 在售型号
耐腐蚀,安装位置:高架 (90°-180°)

进气口	分子泵控制器	I/O接口	集成电源包	资料下载
DN 250 ISO-K	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 CF-F	TC 1200	RS-485, 远程	是
DN 250 ISO-K	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 CF-F	TC 1200	RS-485, 远程, Profibus	是
DN 250 ISO-K	TC 1200	E74, RS-485	是
DN 250 ISO-F	TC 1200	E74, RS-485	是
DN 250 CF-F	TC 1200	E74, RS-485	是

上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 2300 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业.

上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列凭借紧凑结构和卓越性能, 适用于高真空和超高真空应用.HiPace 涡轮分子泵采用混合或磁悬浮轴承系统, 确保低噪音和低振动运行. 此外, 涡轮分子泵 HiPace 还提供特殊型号, 包括针对氢气等轻质气体压缩的版本, 以及配备耐腐蚀涂层的型号. 这些丰富的专用版本选择, 使 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 为涂层, 半导体制造和分析应用提供更优的解决方案.

若您需要进一步的了解 Pfeiffer普发涡轮分子泵 HiPace详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490

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应用案例

上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用