SRG 磁悬浮转子真空计 CaliTorr

除了兼具 SRG 磁悬浮转子真空计的所有优点外, CaliTorr 特点
可拆卸结构, 传感器 / 测量管可离线加热
图形用户操作界面
适用于真空计校准系统 OEM 用标准真空压力源
全金属, 高精度, 数字真空计
替代离子规: 热阴极或冷阴极
可选配 Extend 延长线
出厂随附 DAkkS 校准证书

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SRG 磁悬浮转子真空计 CaliTorr 适用于真空计校准系统

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上海伯东德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计(SRG 转子规)中国总代理, SRG 磁悬浮转子真空计 CaliTorr 电子测量头可以与真空规分离用于烘烤, SRG 转子规 CaliTorr作为标准真空压力源, 适用于真空计校准系统, 出厂随附 DAkkS 校准证书.

SRG 磁悬浮转子真空计 CaliTorr 基本规格

测量原理	SRG 旋转转子技术
测量范围	10 mbar 至 5 x 10^-7 mbar
精度	10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %; 0.01 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 读数的 1 %
长期稳定性	< 每年 1.5 % 的漂移
接液材料管/球	不锈钢
安装方式	水平
模拟接口	USB Type C, 蓝牙, 15pin
数字接口	USB, 蓝牙, RS 232, RS 485
反应时间（快速模式）	1 秒

ph-instruments 磁悬浮转子真空计主要应用场景
半导体制造: 离子注入, 干法刻蚀, 物理 / 化学气相沉积, 脱气腔体 (SRG 转子规擅长氢气氛围监测, 抵抗工艺薄膜沉积.)
低温真空领域: 低温储罐, 液氢输送管路, 真空绝热系统 (SRG 转子规分体无源传感器, 适配超低温环境.)
制药真空冻干: Tri‑Clover 卫生法兰可选, 支持高温灭菌, 长期稳定监测.
真空计校准系统: 计量级真空规, 用于对各类真空计传感器 (包括电容薄膜规, 电离规, 电阻规, 热偶规等）进行全量程, 高精度的计量检定与校准.
科研高能物理, 离子束, 分子束装置 (SRG 传感器与电控单元远距离分离, 屏蔽辐射与等离子干扰.)

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