上海伯东代理德国 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 全金属设计, 耐腐蚀抗污染, 长期稳定的数字真空计. ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计原理简单: 测量管 (内置一个 4.5 mm 滚珠轴承球作为压力传感器), 根据需要安装测量头. 机头通过电磁力与球相互干扰, 无触点测量旋转球在运行过程中的旋转频率变化.
SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.
* ph-instruments 可以替代离子规 MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, Inficon HPG400, Inficon MPG400 等型号.
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ph-instruments 磁悬浮转子真空计 主要型号
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参数 |
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参考图片 |
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特点 |
多配置可选,方便 OEM 集成 |
配置显示器, 内置锂电池 |
计量级 |
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测量范围 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %； |
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长期稳定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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模拟接口 |
USB Type, 15pin,定制 |
USB Type C, 15pin |
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数字接口 |
USB,RS232(维护),RS 485 |
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模拟输出 |
0 - 10 VDC 可配置 |
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电源要求 |
18 至 28 VDC |
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