ph-instruments 磁悬浮转子真空计

上海伯东代理德国 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 在 0.01 至 1 x 10^-6 mbar 精度 1 %. 全金属设计, 耐腐蚀抗污染, 长期稳定的数字真空计. ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计原理简单: 测量管 (内置一个 4.5 mm 滚珠轴承球作为压力传感器), 根据需要安装测量头. 机头通过电磁力与球相互干扰, 无触点测量旋转球在运行过程中的旋转频率变化.

SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.

使用上海伯东 SRG 磁悬浮转子规替代传统真空计, 作为计量级高精度真空压力校准系统的标准真空压力源, 对各种真空传感器, 真空开关进行检定或校准.
* ph-instruments 可以替代离子规 MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, Inficon HPG400, Inficon MPG400 等型号. 了解更多应用案例 >>

SRG 磁悬浮转子真空计

ph-instruments 磁悬浮转子真空计主要型号

参数	Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计	VIM-2 磁悬浮转子真空计	ION Check 真空计校准系统
参考图片
特点	多配置可选,方便 OEM 集成	配置显示器, 内置锂电池	计量级
测量范围	7 Torr 至 4 x 10^-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10^-7 mbar)
精度	7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %； 0.07 Torr 至 7 x 10^-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 读数的 1 %
长期稳定性	< 每年 1 % 的漂移
模拟接口	USB Type, 15pin,定制	USB Type C, 15pin
数字接口	USB,RS232(维护),RS 485
模拟输出	0 - 10 VDC 可配置
电源要求	18 至 28 VDC