涡轮分子泵 HiPace

上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列凭借紧凑结构和卓越性能, 适用于高真空和超高真空应用.HiPace 涡轮分子泵采用混合或磁悬浮轴承系统, 确保低噪音和低振动运行. 此外, 涡轮分子泵 HiPace 还提供特殊型号, 包括针对氢气等轻质气体压缩的版本, 以及配备耐腐蚀涂层的型号. 这些丰富的专用版本选择, 使 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 为涂层, 半导体制造和分析应用提供更优的解决方案.

优势简述:
启动时间短
结构紧凑且重量轻巧
低噪音,低振动
维护量少
提供耐腐蚀特殊涂层型号

主要型号

低振动, 低噪音, 抽速: 67 l/s

涡轮分子泵 HiPace 2800 IT

技术参数

HiPace 涡轮分子泵采用创新转子设计，实现高抽速和高气体吞吐率。这些真空泵可提供混合轴承或磁悬浮轴承版本。

混合轴承型号在前级真空端使用陶瓷滚珠轴承，高真空端配备永磁轴承，确保设备坚固可靠。在磁悬浮版本中，主动磁悬浮轴承通过电磁体和距离传感器的协同作用，使转子悬浮并保持非接触式旋转，从而将磨损降至最低。

两种轴承类型均以经久耐用和低维护需求为设计理念，确保真空泵的可靠性能。对于混合轴承型号，陶瓷滚珠轴承和工作液储液罐可在现场于 30 分钟内完成更换，有效减少停机时间，提升生产效率。

HiPace 系列提供多种型号，满足不同应用需求，包括市场上最小的涡轮分子泵：HiPace 10 Neo。该型号采用机械轴承系统，配备油润滑陶瓷滚珠轴承，即使在快速移动或振动环境中也能保持稳定运行。其小巧的占地面积使其特别适合高度集成的分析仪器，例如质谱分析、电子显微镜或便携式系统等应用。

HiPace 提供多款特殊型号，能够适应各类工艺要求。例如，其中部分型号配备了创新的 Holweck 级联装置，对氢气等极轻气体具有出色的压缩性能，这一特性在需要超高真空的工艺流程和科研应用中至关重要。另有型号配备经 Kepla 涂层处理的转子——该等离子体化学表面处理技术能够提升耐腐蚀性，使其特别适用于涂层和半导体制造等严苛环境。

类型	系类	型号	氮气抽速 l/s	最大极限真空 hPa	氮气压缩比	转速 rpm ± 2 %
涡轮分子泵	HiPace@	HiPace 60	64	＜ 5X10^-10	1X10⁶	90,000
		HiPace 80	67	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	90,000
		HiPace 300	260	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 350	300	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 450	380	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 700	685	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 800	790	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 1200	1,250	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1500	1,400	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1800	1,450	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 2300	1,900	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
涡轮分子泵激光动平衡技术	HiPace@ Neo	HiPace 10 Neo	12	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 30 Neo	32	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 80 Neo	67	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200

伯东企业(上海)有限公司

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