上海伯东代理 Pfeiffer 普发全磁浮分子泵 ATH-M / ATP-M, 五轴磁悬浮轴承系统, 可实现高真空, 超高真空乃至 10-10 hPa 的极高真空度. Pfeiffer 普发全磁浮分子泵 ATH-M / ATP-M 在保证高抽速的同时实现超低振动运行.
凭借磁悬浮轴承实现免维护, 低噪音, 低振动
Pfeiffer 普发全磁浮分子泵专为半导体制造, 工业应用和研发等严苛应用设计, 其工作原理基于高速转子技术, 通过电磁作用结合精密电子控制系统, 使转子悬浮旋转, 避免与泵体接触. 这种非接触式运转消除了摩擦, 不仅可以防止涡轮分子泵的部件磨损, 还实现了免维护, 同时降低了运行噪音和振动水平. 这使得全磁浮分子泵 ATH-M 和 ATP-M 特别适用于对振动敏感的半导体制造等应用.
此外, 当电力中断时, 泵体旋转动能转化的电能可为磁悬浮轴承持续供电, 确保断电情况下仍能稳定运行数分钟.
运行成本更低
Pfeiffer 普发全磁浮分子泵采用变频直流 DC 电机驱动转子. 通过调节转子转速匹配目标真空度, 从而节省能源和成本. 在最新一代的 ATH-M 和 ATP-M 系列涡轮分子泵中, 驱动装置集成于泵体内部, 确保了设备占用空间小.
部分 ATH-M 型号还配备集成式加热系统, 可在严苛的化学环境中保持真空泵的性能. 这一特性对于化学气相沉积 CVD 等应用至关重要, 能够有效防止化学反应副产物在真空系统内部凝结. 集成加热功能可使泵体持续恒温运行, 降低了冷凝和残留物堆积的风险.
主要型号
全磁浮分子泵
技术参数
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类型 |
系类 |
型号 |
氮气抽速 l/s |
最大极限真空 hPa |
氮气压缩比 |
转速 rpm ± 2 % |
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全磁浮分子泵 |
ATH |
350 |
＜ 5X10-10 |
1X108 |
49,200 |
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1,360 |
＜ 5X10-10 |
1X108 |
49,200 |
|||
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2,150 |
＜ 5X10-10 |
1X108 |
49,200 |
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|
2,350 |
＜ 5X10-10 |
1X108 |
49,200 |
|||
|
2,800 |
＜ 5X10-10 |
1X108 |
49,200 |
|||
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全磁浮分子泵 |
ATP |
ATP 1603 M |
1,400 |
＜ 5X10-10 |
1X108 |
49,200 |
|
ATP 2300 M |
2,050 |
＜ 5X10-10 |
1X108 |
49,200 |
