全磁浮分子泵 ATH 1603 M

技术参数

ATH 1603 M

氢气抽速

540 l/s

氦气抽速

940 - 970 l/s

氩气抽速

1280 - 1350 l/s

氮气抽速

1360 - 1400 l/s

氢气压缩比（ISO 5302）

5X10² l/s

氦气压缩比（ISO 5302）

4X10³ l/s

氩气压缩比（ISO 5302）

> 1X 10⁸ l/s

氮气压缩比（ISO 5302）

> 1X10⁸ l/s

极限压力

< 6X10⁻⁹ mbar

最大前级真空（氢气）

0.3 mbar

最大前级真空（氦气）

1.2 mbar

最大前级真空（氩气）

2.5 mbar

最大前级真空（氮气）

1.7 mbar

最大进气真空（氢气）

> 0.6 mbar

最大进气真空（氦气）

> 0.6 mbar

最大进气真空（氩气）

0.026 mbar

最大进气真空（氮气）

0.6 mbar

最终转速下的氢气气体流量

> 4000 sccm

最终转速下的氦气气体流量

> 4000 sccm

最终转速下的氩气气体流量

1200 sccm

最终转速下的氮气气体流量

4000 sccm

建议吹扫流量

50 sccm

转速

39000 rpm

可调转速

15000 rmp 至标称转速

从开始启动到达到最终转速的 90% 所需要的时间，排放压力 < 0.1 mbar

< 6 最小

调节器电源

200-240 V，50/60 Hz 单相

启动时的最大功耗

650 W

额定功率（待机功率）

200 W

最大电流消耗

- A

最高加热温度

- °C

最高烘烤温度

120 °C

推荐冷却水流量

60 l/h

冷却水温度

15 - 40 °C

遥控器类型

Magpower

推荐前级泵

ADP/ADS

声压级（ISO 2151）（在额定转速下，距离设备 1 米处测量）

< 48 dB(A)

额定转速下的振动水平

< 0.01 μm

尺寸（W）

- mm

尺寸（Ø x H）

- x 317.2-327.5* mm

尺寸（Ø）

305 mm

重量（约）

34 kg

调节器重量（约）

8.7 kg

进气口

DN 200、DN 250

排气口

DN 40 ISO-KF

N₂ 吹扫法兰

DN 16 ISO-KF

不锈钢进气滤网（出厂设定）

是

允许的磁场强度（径向值）（在距离设备 10 厘米处）

< 12 mT

机载控制器控制选项

Profibus，远程