SRG 旋转转子技术
全金属, 高精度, 数字真空计
长期稳定: < 每年 1 % 的漂移
超清洁, 坚固, 耐腐蚀和沉积
测量范围: 10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
自主物理测量方式, 不需要电离等过程
对温度不敏感
高精度测量 1 %
替代离子规: 热阴极或冷阴极
提供多种配置可选
SRG 磁悬浮转子真空计 Dositorr 高精度耐腐蚀, 替代离子规
簡介
SRG 旋转转子技术
全金属, 高精度, 数字真空计
长期稳定: < 每年 1 % 的漂移
超清洁, 坚固, 耐腐蚀和沉积
测量范围: 10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
自主物理测量方式, 不需要电离等过程
对温度不敏感
高精度测量 1 %
替代离子规: 热阴极或冷阴极
提供多种配置可选
技术规格
上海伯东代理德国 ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器是一种基于旋转转子压力表技术的新型过程压力计. 与其他真空测量（热阴极或冷阴极, 电容式压力传感器）相比, Dositorr SRG 旋转转子压力表精度高, 耐腐蚀, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）. 简单的几何形状和不锈钢旋转球, 通过电磁力平滑移动, 适用于各种高纯度气体工艺.
Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计技术规格
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测量原理 |
旋转转子技术 |
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测量范围 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %; |
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长期稳定性 |
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接液材料管/球 |
不锈钢 |
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安装方式 |
水平 |
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模拟接口 |
USB Type C, 蓝牙, 15pin |
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数字接口 |
USB, 蓝牙, RS 232, RS 485 |
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反应时间（快速模式） |
1 秒 |
上海伯东德国 ph-instruments Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计适用于工艺中的连续, 自动, 高真空测量, 并提供多种灵活的解决方案.
DosiTorr: 传感器, 测量头和电子设备集成在一个紧凑的单元中
CaliTorr: 电子测量头可以与真空规分离用于烘烤
DosiTorr 扩展: 测量头和电子设备分离, 便于在空间受限的设备中安装
DosiTorr 配置: 设计用于 1:1 离子规更换配置电接口(即插即用解决方案)
Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计应用
替代离子规: 传统电离式的真空规无法使用的情况
离子注入, 干法刻蚀
在线真空监测
液氮, 液氦高纯气体存储
若您需要进一步的了解 SRG 磁悬浮转子真空计 详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
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应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规
可以替代离子规 MKS 903 AP,MKS GP 390,MKS GP 355,Inficon HPG400,Inficon MPG400 等型号
SRG 旋转转子真空计测量原理
SRG 旋转转子真空计测量原理,稳定测量优势,固有的抗污染性和坚固设计,高精度和长期稳定性
ph-instruments Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计离子注入应用
SRG 磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无污染, 对沉积不敏感. 可替代离子注入工艺中的离子规, 解决常规离子规经常失效, 信号漂移等问题.
SRG 旋转转子真空规与离子规对比
SRG 旋转转子真空计精度高, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）, 适用于半导体, 低温真空绝热, 高精度真空计校准系统.
SRG 磁悬浮转子规原理和特点(耐腐蚀,高精度,长期稳定)
SRG 旋转转子是一种高精度且稳定的真空测量技术, 核心感测组件是一个小型磁悬浮的钢球, 透过管件连接到真空系统内
SRG 磁悬浮转子真空计应用于显示面板腔体测量
磁悬浮转子真空计具有长期的坚固性, 高度准确和稳定的压力读数, 耐腐蚀和沉积, 即使在腐蚀工艺中, 其他仪表可能会漂移和失效, SRG 磁悬浮转子真空计无影响.
SRG 磁悬浮转子真空计应用优势
耐腐蚀和沉积, 无灯丝设计, 替代传统的离子规(冷阴极离子规或热阴极离子规)
SRG 磁悬浮转子真空计替代离子规适用于腐蚀和沉积环境
SRG 高精度磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无灯丝设计, 没有内在的污染源, 不会造成二次电离污染沉积. 完全替代离子规, 提供可靠的, 长期稳定的压力测试, 更适合高污染的严苛工艺环境.
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在眼科涂层 Opthalmic Coating 中的应用优势
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在镀膜行业（如光学镀膜, 硬质镀膜）中, 其稳定的真空测量可确保膜层厚度均匀性, 减少批次间差异, 提升镀膜产品光学性能与耐用性.
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在光伏行业 Solar Collectors 中的应用优势
SRG 磁悬浮旋转转子真空计可以在玻璃管内工作, 因此可以将带有球的玻璃管焊接到玻璃真空室, 在制造过程中测量真空度.可用于光伏行业的维护, 制造和测试, 且方便拆卸
VIM-2 磁悬浮转子真空计应用于真空绝缘监测
VIM-2 磁悬浮转子真空计应用于真空绝缘监测, 测量和监控真空绝缘泄漏的压力值, 长期稳定
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