Hakuto 自研在线质谱分析仪特性
高分析精度与生产就绪的可靠性相结合
智能软件: 集成软件的直观控制, 数据采集和量化, 支持先进的数据分析
广泛的应用范围: 理想的气体纯度分析, 真空监测, 泄漏检测和实时过程控制领域, 如气体杂质分析, 光催化, 热催化, 半导体制造先进材料加工.
Hakuto 自研在线质谱分析仪应用场景
光催化 / 热催化
石油裂解 / 煤气分析
燃烧室管理: 燃烧室指纹识别和匹配
ALD, ALE, 干泵管理, EUV 镜像管理
泄漏检测
气体输送监测（纯度和杂质）
新能源电池
上海伯东提供可定制版本的质谱分析仪, 例如: 压力控制进气, 特殊进气系统, 特殊外壳设计等, 满足不同应用.
技术参数
上海伯东 Hakuto 自研在线质谱分析仪核心分析技术
质量范围: 高达 300amu（适用于广泛的工艺气体和副产品）
高速读取: 高达 1000 读数/秒每 amu 快速过程监控和准确的端点检测
先进的质量过滤器: 采用先进的四极杆质谱, 优越的质量分离和信号稳定性
双探测器系统: 具有双法拉第/二次电子倍增器（SEM）, 具有宽动态范围和低检测极限
集成过程逻辑控制器: 允许在室内安装和直接控制本地过程环境
行业标准通信: 支持高速, 确定性协议, 如 EtherCAT, Modbus 无缝工具集成
智能软件: 直观的 GUI（图形用户界面）控制, 数据采集和自动分析
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型号 |
Hakuto Genius 在线质谱分析仪 |
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分析技术 |
四极杆质谱 QMS |
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质量数 |
1 - 100 / 200 / 300 amu |
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分析器类型 |
四极质量过滤器 |
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离子发生器 |
电子撞击电离器 |
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探测器 |
法拉第 /二次电子倍增器（SEM） |
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真空系统 |
内部集成紧凑设计的涡轮分子泵 |
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取样压力范围 |
1E-5 torr 至 30 psi |
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通信协议 |
EtherCAT, Modbus, RS232 / RS432 |
