分子泵

上海伯东代理 Pfeiffer 普发涡轮分子泵抽速范围 10 至 3000 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴磁悬浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵, 涡旋干泵, 隔膜泵, 多级罗茨泵共同使用.

推出激光平衡技术 LASER BALANCING™ 涡轮分子泵 HiPace 30 Neo, HiPace 80 Neo

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列获得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 认证. 为高真空应用提供解决方案, 适用于超高真空排气台, 质谱分析, 电子显微术, 测量技术, 粒子加速器和等离子体物理方面的应用. 除了用于分析, 真空工艺和半导体技术外, 还可用于真空镀膜, 研发以及工业领域. 推荐分子泵典型应用 >>

各系列

分流式分子泵 SplitFlow

多级结构逐级提升真空度

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全磁浮分子泵 ATH-M / ATP-M

五轴磁悬浮轴承系统

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涡轮分子泵 HiPace

抽速: 10 至 3000 L/S

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涡轮分子泵组 HiCube Neo

提供台式和移动式两种类型

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技术参数

类型	系类	型号	氮气抽速 l/s	最大极限真空 hPa	氮气压缩比	转速 rpm ± 2 %
涡轮分子泵	HiPace@	HiPace 60	64	＜ 5X10^-10	1X10⁶	90,000
		HiPace 80	67	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	90,000
		HiPace 300	260	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 350	300	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 450	380	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 700	685	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 800	790	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 1200	1,250	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1500	1,400	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1800	1,450	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 2300	1,900	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
涡轮分子泵激光动平衡技术	HiPace@ Neo	HiPace 10 Neo	12	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 30 Neo	32	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 80 Neo	67	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
分流式分子泵	SplitFlow™	SplitFlow™ 50	35	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
全磁浮分子泵 Holweck 级	ATH	ATH 500 M	350	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 1600 M	1,360	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 2300 M	2,150	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 2804 M	2,350	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 3204 M	2,800	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
全磁浮分子泵无 Holweck 级	ATP	ATP 1603 M	1,400	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
全磁浮分子泵无 Holweck 级	ATP	ATP 2300 M	2,050	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200

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