Pfeiffer 普发残余气体分析仪 PrismaPro

簡介

模块化设计, 兼容性更强
PV MassSpec软件操作直观, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝, 更长使用寿命
最低可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力
气密离子源型号可选, 适合与进气系统组合使用, 具有低气体消耗和高信噪比的特点.
可通过以太网进行联网
高测量速度, 稳定性, 高分辨率

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技术规格

上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, Pfeiffer 残余气体分析仪可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 最低可检测分压 3 X10^-15 hPa.

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计, 兼容性更强
PV MassSpec软件操作直观, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝, 更长使用寿命
最低可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力
气密离子源型号可选, 适合与进气系统组合使用, 具有低气体消耗和高信噪比的特点.
可通过以太网进行联网
高测量速度, 稳定性, 高分辨率

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:

型号	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
检测器	法拉第 Faraday (F)			电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)
质量数 amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四极杆直径／长度	6 / 125 mm
最小检测极限 F hPa *^1,2	4X10^-13	5X10^-13	7X10^-13	-		-	-
最小检测极限 M hPa *^1,2	-	-	-	3X10^-15		4X10^-15	5X10^-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*³	5X10^-4	4X10^-4	3X10^-4	5X10^-4		4X10^-4	3X10^-4
最大工作压力 F hPa	5X10^-4
最大工作压力 M hPa	-	-	-	5X10^-5		5X10^-5	5X10^-5
对临近质量数的影响^*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作温度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度电子	5 – 50 °C
烘烤温度分析	300 °C (移除电子模块)
分辨率	1 ms - 16 s/amu (10% 峰高)
连接法兰	DN 40 CF-F
保压时间	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* ¹开放式离子源
* ²停留时间 4秒
*³与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度

上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 应用场景
冷冻干燥: 硅油检测
电池研发质控: 锂电池产气分析, 电池注液后泄露检漏
镀膜工艺: 镀膜过程监控
尾气分析: 汽车尾气或燃料电池放气(质谱法在线测试氢气纯度)
化工催化: 石油裂化催化剂
电子器件封装: 电子元器件气氛监测
真空炬气氛: 碳化硅长晶-质谱在线监控
工业检漏