上海伯东 SRG 耐腐蚀磁悬浮转子规的测量范围是 10 mbar 至 5 x 10^-7 mbar,  涵盖先进镀膜, 半导体 (PVD, Dry Etch) 等工艺应用.

磁悬浮转子规的测量原理: SRG 旋转转子真空计是一种高精度且稳定的真空测量技术, 核心感测组件是一个小型磁悬浮的钢球, 透过管件连接到真空系统内. 在测量周期中, 这个球由一个可分离的驱动组件加速到精确定义的转速 (每秒数百转).

一旦达到所需速度, 驱动线圈断电, 让球自由旋转, 周围气体分子对球体表面施加的压力 (分子阻力) 会使其减速. 撷取线圈测量这个减速速率, 计算精确压力. 压力较高时, 较高的气体密度导致较大的分子阻力, 减速较快; 而较低的压力导致阻力减小, 减速时间较长. 压力与钢球旋转之减速率成正比.

P = Constant * D
P: 压力; Constant: 常数, 与钢球半径相关; D: 钢球旋转减速率

SRG 磁悬浮转子规的特点
1. 磁悬浮转子规内部没有电子, 离子, 热和辐射产生, 测量时改变气体成分和压力, 吸放气现象可以忽略, 无抽气效应, 具有测量准确度高, 线性好, 重复性和长期稳定性好, 结构简单等优点, 可以用于单一气体和已知浓度比例的混合气体的测量.

PS: 与传统热阴极或冷阴极的离子规对比, 离子规会发热, 导致加热真空腔体并出现离子逃逸, 污染真空腔体, 上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计无灯丝, 磁屏蔽设计, 在真空腔体中无任何电子设备, 无馈通, 采用机械测量的原理, 全金属材质, 耐高温, 超洁净, 确保耐腐蚀和沉积, 不会出现任何的二次污染.

2. 磁悬浮转子真空计具有高精度和快速响应的特点. 由于转子悬浮在真空腔内, 减少了气体分子与转子之间的碰撞, 从而减小了测量误差. 同时, 磁悬浮系统可以快速调节转子的悬浮高度, 使得测量响应速度更快.

3. 除了高精度和快速响应外, 磁悬浮转子真空计还具有较宽的测量范围和良好的稳定性.磁悬浮系统的稳定性较高, 可以长时间保持转子的悬浮状态, 提高了测量的可靠性.

PS: 传统离子规, 易损坏, 使用几周就需要清洁或更换灯丝, 漂移显著, 需要定期的校准.
SRG 磁悬浮转子真空计免维护, 无需校准(读数随时间漂移 <1% 每年), 不受气体种类的影响.可长期使用.

上海伯东代理德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀和沉积, 无灯丝设计, 替代传统的离子规 (冷阴极离子规或热阴极离子规), 适用于半导体, 镀膜, 显示面板, 光伏等先进真空工艺中, 提供可持续, 可靠并且长期稳定, 没有内在污染源的真空测量方案!


 

上海伯东 SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量,  SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造,  镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.

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SRG 磁悬浮转子规原理和特点(耐腐蚀,高精度,长期稳定)