KRi 离子源电源控制器

上海伯东美国 KRi 提供的离子源模块化电源控制器, 可以操作各种离子, 等离子体和电子源, 用于在等离子体处理中, 输出稳定和可重复功率的动态负载. 可以在恶劣的环境中正常运转, 易于系统集成.

离子源电源控制器由多个模组组成, 模组的特性取决于功率, 频率, 电压, 电流和控制方式, 大多数模组都满足 CE 和 CoHS 标准.

连续性和稳定性: 能够在紧急情况下比如载入高能量的等离子体, 短路, 电流过冲, 电压过冲和功率过冲的情况, 实现保护功能. 确保在运行沉积和刻蚀工艺时进行不间断的操作. 通过数显的面板, 可以即时观测和控制工艺参数和状态资讯.

KRi 模块化电源包括但不限于以下产品:
KRi 直流磁控溅射电源
无栅网霍尔电源
DC 直流电源集成中和器
RFICP 射频电源