超百万次可靠运行寿命
不产生粉末，颗粒，防尘设计
阀动作平稳,振动和冲击小
标准接口，或按客户要求定制
阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
适用于1E-9Torr,200℃ 条件下
专用于真空相关系统, 起隔绝真空压力的作用
或直接联络客服: 139-1883-7267
HVA 矩形阀 88200 系列 DN32*222 mm-DN50*336
簡介
超百万次可靠运行寿命
不产生粉末，颗粒，防尘设计
阀动作平稳,振动和冲击小
标准接口，或按客户要求定制
阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
适用于1E-9Torr,200℃ 条件下
专用于真空相关系统, 起隔绝真空压力的作用
技术规格
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200 系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀, 可靠使用寿命超过1百万次. HVA 矩形阀门 88200 系列专用于真空相关系统, 起隔绝真空压力的作用. HVA 矩形阀外形尺寸小, 设计紧凑, 可靠应用于生产线与过渡腔室 load-lock chamber 过渡腔室 load-lock chamber 与传输系统handling system, 传输系统 handling system 与工艺腔室 process chamber 等等需要分隔真空压力的地方.
HVA 矩形阀 88200 系列技术参数
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连接形式： |
标准或定制法兰 |
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主体材料： |
铝 |
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公称通径： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
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漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
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压力范围: |
1x10E-9 Torr |
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烘烤温度: |
《150℃ |
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适用介质： |
水、蒸汽、空气 |
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密封形式： |
软密封型 |
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驱动方式： |
气动 |
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使用寿命: |
1000000 启闭次数 |
上海伯东美国 HVA 高真空和超高真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！
若您需要进一步的了解 HVA真空阀门详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
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应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
HVA 矩形阀 88200 系列 Load-lock 典型应用
应用于晶矽料生产设备中的 Load-lock 工位, 美国 HVA 矩形阀 88200 系列, 具有独特的密封系统, 可避免粉尘颗粒污染, 有效减少了维护次数,
HVA 真空阀门应用于亚洲最大的粒子加速器系统
应用于中国研制的亚洲粒子加速器系统 100MV,HVA 带孔真空插板阀, 可根据客户需求进行定制
HVA 真空插板阀（真空阀门）用于激光真空系统
HVA 真空插板阀（真空阀门）用于激光真空系统
HVA 真空闸阀 11000 系列应用于 OLED 镀膜机
为了节省抽空时间和防止基片的污染,会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样,由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加 HVA高真空闸阀来隔离系统
HVA 高真空闸阀 11000 系列 应用于 E-Beam 镀膜机
E-Beam 电子束蒸发镀膜机用于在半导体, 光学, 超导材料等行业的研究与生产, 比如基片蒸发沉积金属, 导电薄膜, 半导体薄膜, 铁电薄膜, 光学薄膜和介质材料.
HVA 真空闸阀在气体管路系统应用
HVA 闸阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能, 广泛用在气体输送环节 (气体管路系统) , 起到真空隔离密封作用.
上海伯东美国 HVA 真空插板阀应用于半导体管道中
美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中,满足高真空 1E10-9 mabr 和超高真空 1E10-10 mbar 应用
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