上海伯东代理德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计(SRG 转子规), 替代传统真空计, 满足先进工艺中的真空校准, 真空隔热, 镀膜, 半导体等应用.
一、作为计量级真空规, 用于真空计校准系统
磁悬浮转子真空计是一种长期稳定的高精度计量级真空规, 替代传统真空计, 可满足各种真空传感器, 真空开关检定或校准, 作为标准真空压力源, SRG 转子规广泛应用于各品牌的高精度真空压力校准系统. 实现工业, 科研, 半导体等领域的真空精密控制过程.
* 应用优势: 计量和校准标准「NIST可追溯性」, 替代离子规, 薄膜规; 高精度测量的同时, 长期稳定性 < 每年 1.5 % 的漂移.


二、在低温技术(真空隔热)中的应用
真空隔热是阻断热量传递的最优方案. 上海伯东代理德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计 VIM-2 可在不破坏真空环境的前提下, 实现真空隔热状态的实时监测, 是低温技术应用中的理想选择.

液化气体储存运输: 高性能真空绝热结构与精密管控系统是液态储气的必备配置, 德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计 VIM-2 全程监测运输储气设备的真空绝热性能, 维持气体液态状态, 避免因蒸发损耗造成气体与经济损失
低温超导: 核磁共振设备采用真空绝热超导磁体, 工作温度为液氦温区, 磁悬浮转子真空计 SRG 技术可检测绝热真空度及其长期变化趋势, 尤其适用于磁体常温状态下的生产制造环节与运维检修场景.
* 应用优势: 磁悬浮转子真空计的传感器与电子控制模块分体式设计, 无电气馈通结构无需开启密封真空腔体进行时时测量.

三、磁悬浮转子真空计在镀膜显示面板中的应用
在半导体, 显示面板等先进真空工艺中, 通常会使用具有一定腐蚀性的气体, 比如 BFз, PH3, 气态有机溶剂等, 不论使用冷阴极离子规或热阴极离子规, 真空状态下, 离子规内部灯丝加热过程与气体反应产生带电粒子, 不仅仅快速污染沉积在离子规上, 使离子规几周就会污染损坏, 这些带电粒子最终还会沉积在分子泵和晶圆表面, 造成更大的损失. 使用 ph-instruments 磁悬浮转子真空计无上述问题.
* 应用优势: 磁悬浮转子真空计全金属设计, 耐腐蚀和沉积, 无灯丝设计, 没有内在的污染源, 不会造成二次电离污染沉积. 提供可靠的, 长期稳定的压力测试, 更适合高污染的严苛工艺环境


四、磁悬浮转子真空计在半导体工艺中的应用
离子真空计与电容真空计在真空干燥固化 ( Vacuum Dry, VCD) 及半导体离子注入 (Implantation) 制程中, 易受温度, 制程物质污染的影响, 面临被污染和失真等问题, 导致测量值不准确和制程不稳定. 上海伯东代理德国 PH-Instruments 旋转转子真空计 (Spinning Rotor Gauge, SRG) 作为更稳定, 更精确且更具抗污染能力的替代方案, 旋转转子真空计在严苛的制程环境中能提供卓越的性能, 有效提升制程可靠性和产品良率.


上海伯东代理德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计 DosiTorr 替代离子规, 解决电离真空计漂移, 测量精度差等难点, 优化 PVD 脱气工艺, 经过优化的脱气工艺可大幅提升金属层附着力, 减少界面缺陷, 提高 DRAM 与先进逻辑芯片生产良率.

上图 : 通入氢气工艺气体时, 磁悬浮转子真空计 DosiTorr 对多组脱气工艺周期的压力监测曲线
曲线特征：10⁻²~10⁻⁶ mbar 压力读数稳定精准, 抽真空周期数据可稳定, 重复采集.

* 应用优势: 德国 PH-Instruments 超过20年设计制造 SRG 经验, 推出全金属传感器设计以及真空内部没有电气穿透件的 DosiTorr 真空计, 对机械应力和腐蚀性介质具有独特的抵抗力. 唯一暴露在真空中的部分是管中的钢球. 这种坚固的设计使其比热灯丝或精细膜片显著不易受污染.

从1976年 第一代旋转转子真空计原型机的问世至今, 磁悬浮旋转转子技术历经半个世纪的发展迭代, 上海伯东德国 ph-instruments 中国总代理, 专注于为客户提供定制化解决方案, 并持续提供专业技术支持.  德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的真空测量,SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 应用并提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.

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