干式真空泵(多级罗茨泵)

普发 ACP 系列干式真空泵 (多级罗茨泵) , 转子和定子之间不使用润滑油和密封材料, 抽气模块无磨损件, 无颗粒产生, 有效保证多级罗茨泵无油无尘, Pfeiffer 干泵提供清洁干燥的真空环境, 可作为分子泵的前级泵, 超长的使用寿命, ACP 干泵提供耐腐蚀型号供选择.

技术参数

上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer 气冷型干式真空泵(多级罗茨泵) ACP 系列, 清洁无油, 满足洁净干燥真空工艺的要求! 干式真空泵 ACP 系列抽速范围 15 至 88 m3/h, 极限真空度 10-2 hPa, 提供标准版本 SD 系列, 抗腐蚀版本 G 系列, 耐水汽版本 CV 系列, SH 无氟版本和 CP 气体回收版本, 满足各种真空应用

干式真空泵 ACP 15 / 28 / 40 / 90 主要优势:
1. 干式真空泵非接触设计, 无摩擦, 不会受到颗粒的污染 (在气体输送路径中不存在磨损件)
2. 无烃类蒸汽的回流 (ACP 干泵对于泵模块是无润滑剂)
3. 恒定功率 (抽吸能力, 最高持续进气压力和最终压力)
4. 维护成本低, 维修间隔时间超长:
   ACP 15 干泵完整大修仅每 20000 小时一次
   ACP 28 / 40 完整大修仅每 22000 小时一次
5. 干式真空泵 ACP 是涡旋泵和油泵的理想替代品
6. 气冷型, 更低能耗
7. 变频器-计时表, 远程操作模式 (RS-485, 干触点, Profibus可选),多转速选择(节能,噪音低)
8. 多种标准接口: 吹扫气体, 气镇等
9. 符合 CE 标准, 通过 UL/CSA 认证, SEMI S2 认证

干式真空泵 ACP 15 / 28 / 40 / 90 技术参数:

型号

接口尺寸 DN

极限真空度mbar

抽速

最大漏率

重量

有气镇阀

无气镇阀

m3/h

mbar l/s

kg

ACP 15 SD
ACP 15 G

25

0.1

3X10-2

14

< 5X10-7

23

ACP 28 SD
ACP 28 G
ACP 28 CV
ACP 28 CP *
ACP 28 SH *

25

0.1

3X10-2

27

< 5X10-7

30

ACP 40 SD
ACP 40 G
ACP 40 CV
ACP 40 CP *
ACP 28 SH *

40

0.1

3X10-2

37

< 5X10-7

32

ACP 90 SD
ACP 90 G

40

0.1

3X10-2

88

< 5X10-6

75

SD: 标准版本 
G:   抗腐蚀版本 
CV:  耐水汽版本
SH:  无氟版本
CP:  气体回收版本, 通入气体必须是清洁,  无尘, 无腐蚀性的气体

干式真空泵 ACP 15 / 28 / 40 / 90 应用:
1. 分析仪器; 2. 电子显微镜; 3. 表面分析仪; 4. 检漏仪; 5. 质谱仪; 6. 光谱仪; 7. R&D; 8. 粒子加速器; 9. 分子泵组; 10. 实验室; 11. 工业; 12. 灯具生产; 13. 真空镀膜; 14. 低温泵再生; 15. 等离子清洗; 16. 干燥; 17. Load-lock;


干式真空泵 ACP 15 / 28 / 40 / 90 标准版本 SD 系列:
SD 系列适合需要进行洁净(无尘)以及抽气环境无腐蚀性气体的真空应用。标准干泵装配有一个气镇阀,便于保证轻气体的抽气能力和排水汽。三种气镇阀类型供您选择。
 

干式真空泵 ACP 15 / 28 / 40 / 90 抗腐蚀版本 G 系列:

G 系列干泵适合含有少量腐蚀性气体的抽气环境。扫气管路的三个喷嘴用于稀释微量的腐蚀性气体,同时保护低压和高压球轴承。为取得轴承的最佳保护效果,必须将中性吹扫气体输入管路中的压力调节到 0.3 bar,以便达到技术数据中规定的吹扫气体流量。



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