上海伯东 Pfeiffer 普发 ACP 系列干式真空泵 (多级罗茨泵) , 采用非接触式运行设计, 结合多级压缩技术, 转子和定子之间不使用润滑油和密封材料, 抽气模块无磨损件, 无颗粒产生, 有效保证多级罗茨泵实现无油, 无颗粒污染的干燥真空环境, ACP 系列干泵可作为分子泵的前级泵, 超长的使用寿命, 提供耐腐蚀型号供选择.
Pfeiffer ACP 系列干泵提供多种型号, 适用于半导体制造, 真空包装, 医疗与制药, 研发和分析等行业中需要洁净, 干燥真空环境的应用.
标准 SD 版本适用于处理半导体等离子清洗等洁净气体. G 版本针对腐蚀性气体优化, 特别适合蚀刻工艺. CV 版本专为可冷凝蒸汽设计, 是制药行业干燥应用的合适选择. 在特种气体处理领域, CP, SH 和 SR 版本分别针对氦气回收, 粒子加速器和辐射环境而设计
Pfeiffer 普发 ACP 系列干式真空泵完全符合 CE 认证, 并通过了 UL/CSA 和 SEMI S2 认证, 满足《限制危险材料指令》（2011/65/EU）, 《电气安全标准 IEC 60204-1》及《机械指令》（2006/42/EG）等国际安全与性能标准.
主要型号
技术参数
上海伯东德国普发 Pfeiffer 气冷型干式真空泵(多级罗茨泵) ACP 系列, 清洁无油, 满足洁净干燥真空工艺的要求! 干式真空泵 ACP 系列抽速范围 15 至 95 m3/h, 极限真空度 10-2 hPa, 提供标准版本 SD 系列, 抗腐蚀版本 G 系列, 耐水汽版本 CV 系列, SH 无氟版本和 CP 气体回收版本, 满足各种真空应用
干式真空泵 ACP 主要优势:
1. 干式真空泵非接触设计, 无摩擦, 不会受到颗粒的污染 (在气体输送路径中不存在磨损件)
2. 无烃类蒸汽的回流 (ACP 干泵对于泵模块是无润滑剂)
3. 恒定功率 (抽吸能力, 最高持续进气压力和最终压力)
4. 维护成本低, 维修间隔时间超长：
ACP 15 干泵完整大修仅每 20000 小时一次
ACP 28 / 40 完整大修仅每 22000 小时一次
5. 干式真空泵 ACP 是涡旋泵和油泵的理想替代品
6. 气冷型, 更低能耗
7. 变频器-计时表, 远程操作模式 (RS-485, 干触点, Profibus可选)，多转速选择(节能，噪音低)
8. 多种标准接口: 吹扫气体, 气镇等
9. 符合 CE 标准, 通过 UL/CSA 认证, SEMI S2 认证
干式真空泵 ACP 系列技术参数：
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技术参数 |
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抽速 |
14 m³/h |
27 m³/h |
37 m³/h |
88 m³/h |
95 m³/h |
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不含气镇或吹扫的极限真空 |
5X10⁻² mbar |
4X10⁻² mbar |
4X 10⁻² mbar |
3X 10⁻² mbar |
3X 10⁻² mbar |
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带气镇的极限真空 |
3X10⁻¹ mbar |
2X10⁻¹ mbar |
2X10⁻¹ mbar |
1.6X 10⁻1 mbar |
3X 10⁻1 mbar |
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冷却方式 |
风冷 |
风冷 |
风冷 |
风冷 |
风冷 |
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极限压力下的功耗 |
0.45 kW |
0.7 kW |
0.7 kW |
1.3 kW |
1.3 kW |
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最大功耗 |
0.55 kW |
1.05 kW |
1.05 kW |
1.3 kW |
1.5 kW |
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重量 |
23 kg |
30 kg |
32 kg |
75 kg |
213 kg |
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尺寸（L x W x H） |
514 x 190 x 270 mm |
647 x 193 x 322 mm |
647 x 193 x 322 mm |
671 x 319 x 324 mm |
872 x 370 x 469 mm |
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进气法兰 |
DN 25 ISO-KF |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 50 ISO-KF |
SD: 标准版本, 适合需要进行洁净（无尘）以及抽气环境无腐蚀性气体的真空应用。标准干泵装配有一个气镇阀，便于保证轻气体的抽气能力和排水汽. 三种气镇阀类型供您选择
G: 抗腐蚀版本, 适合含有少量腐蚀性气体的抽气环境. 扫气管路的三个喷嘴用于稀释微量的腐蚀性气体, 同时保护低压和高压球轴承. 为取得轴承的最佳保护效果, 必须将中性吹扫气体输入管路中的压力调节到 0.3 bar, 以便达到技术数据中规定的吹扫气体流量
CV: 耐水汽版本, 是制药行业干燥应用的合适选择
SH: 无氟版本
CP: 气体回收版本, 通入气体必须是清洁, 无尘, 无腐蚀性的气体, 为氦气回收, 粒子加速器和辐射环境而设计
干式真空泵 ACP 应用：
1. 分析仪器; 2. 电子显微镜; 3. 表面分析仪; 4. 检漏仪; 5. 质谱仪; 6. 光谱仪; 7. R&D; 8. 粒子加速器; 9. 分子泵组; 10. 实验室; 11. 工业; 12. 灯具生产; 13. 真空镀膜; 14. 低温泵再生; 15. 等离子清洗; 16. 干燥; 17. Load-lock;
上海伯东Pfeiffer 普发 ACP 系列干式真空泵 (多级罗茨泵) , 采用非接触式运行设计, 结合多级压缩技术, 转子和定子之间不使用润滑油和密封材料, 抽气模块无磨损件, 无颗粒产生, 有效保证多级罗茨泵实现无油, 无颗粒污染的干燥真空环境, ACP系列干泵可作为分子泵的前级泵, 超长的使用寿命, 提供耐腐蚀型号供选择.
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上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐
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