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上海伯东美国 HVA 阀门中国总代理, HVA 矩形阀适用于安装在真空机台 Load-lock工位, 起到传递样品的作用
技术参数
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型号 |
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阀门主体材料 |
铝 |
不锈钢 |
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口径 |
DN32*222 mm-DN50*336 |
DN32*222-DN100*1250 mm |
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驱动方式 |
气动 |
气动 |
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使用寿命 |
1000000 启闭次数 |
1000000+使用周期 |
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烘烤温度 |
《150℃ |
《150℃ |
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压力范围 |
1x10E-9 Torr |
1x10E-9 Torr |