HVA 矩形阀,真空矩形阀门

上海伯东美国 HVA 阀门中国总代理, HVA 矩形阀适用于安装在真空机台 Load-lock工位, 起到传递样品的作用

技术参数

型号

HVA 矩形阀 88200 系列

HVA 矩形阀 28200 系列

阀门主体材料

不锈钢

口径

DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250

DN32*222-DN100*1250 mm

驱动方式

气动

气动

使用寿命

1000000 启闭次数

1000000+使用周期

烘烤温度

《150℃

《150℃

压力范围

1x10E-9 Torr

1x10E-9 Torr