HVA 高真空闸阀, 插板阀

HVA 不锈钢真空闸阀, 真空插板阀
型号: 11000 系列
口径: DN 16 - 800 mm
压力范围: 高真空 1x10^-9 mbar; 超高真空 1x10^-10 mbar
最高烘烤温度: 250 °c

通用型号, 适用于低温泵, 涡轮分子泵, 离子泵以及其他需要清洁, 低放气率阀门的应用.

HVA 不锈钢真空闸阀,真空插板阀
型号: 21200 系列
口径: DN 16 - 320 mm
压力范围: 1x10^-9 mbar
最高烘烤温度: 150 °c

百万周期使用寿命, 在真空环境中, 阀门内部没有机械锁, 适用于半导体和需要无振动运行的敏感工艺

HVA 不锈钢真空隔离闸阀
型号: 16000 系列
口径: DN 40 - 320 mm
压力范围: 1x10^-9 mbar
最高烘烤温度: 150 °c

配备有随闸板移动的防护罩, 适用于污染性强, 不允许出现频繁的停机, 极其严苛的工艺环境

HVA 三位不锈钢真空闸阀, 真空插板阀
型号:  21700 系列
口径: DN 100 - 300 mm
压力范围: 1x10^-9 mbar
最高烘烤温度: 150 °c

采用两个气动电磁阀和一个气压调节器控制阀门的3种开启方式: 完全打开,完全关闭以及一个可调节的中间位置.

适用于刻蚀, CVD, 真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业

HVA 不锈钢真空层流闸阀
型号: 13000系列
口径: DN40-DN300 mm
压力范围: 1x10^-9 mbar

具有层流流口孔径, 能有效将阀体与气流隔开

广泛应用于半导体领域, 比如刻蚀, 化学气相沉积以及任何使用高腐蚀性气体的工艺中

HVA 不锈钢高真空闸阀 
 型号: 71000 系列
口径: DN 50 - 200 mm
压力范围:
1x10^-9 mbar

不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护

满足 MOCVD, ALD, PECVD 强腐蚀性化学物质和高温环境的工艺需求

HVA 铝制高真空闸阀
型号: 81000 系列
口径: DN 100-320 mm压力范围: 1x10^-7 mbar

比同等口径的不锈钢阀门氢气脱气率低

满足半导体, 太阳能, LED/平板显示器, 涂层以及生物制药等行业的系统集成设计要求