上海伯东德国 PH Instruments 磁悬浮转子真空计中国总代理. 磁悬浮转子真空计基于旋转转子 SRG 技术开发, 在 0.01 至 1 x 10^-6 mbar 精度 1 %. 全金属设计, 耐腐蚀抗污染, 是一种长期稳定的计量级真空规, 可满足各种真空传感器, 真空开关检定或校准, 作为标准真空压力源, SRG 磁悬浮转子真空计广泛应用于各品牌的高精度真空压力校准系统. 实现工业, 科研, 半导体等领域的真空精密控制过程.

北京某仪表科技公司真空压力校准系统应用实例
使用上海伯东 SRG DosiTorr 磁悬浮转子规替代 Inficon 离子规, 作为高精度真空压力校准系统的标准真空压力源, 对各种真空传感器, 真空开关进行检定或校准.

真空压力校准系统功能
真空范围:通用 (133000~5x10°)Pa (4x10^-2  Torr); (133000~5x10^-4) Pa (4x10^-6 Torr)
输出接口:两路标准 KF25 卡箍安装, 两路标准 KF16 卡箍安装
多种真空接口转换接头( VCR-1/2, VCR-1/4, KF16, KF25)
标准器最大误差: 0.025级, 0.15级, 0.2级
测量有效分辨率: 0.001%FS (0.025级); 0.003%FS
控制精密度: 0.005Pa
工作电源: 220VAC, 50Hz@6A;

客户配置 SRG 磁悬浮转子规的高精度真空压力校准系统适用于研究和开发, 生产制造, 汽车工业, 工业安全, 石油化工, 造纸, 电力等各科研领域以及工业领域的精密控制过程.

上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计在真空压力校准系统中的应用优势
一  、固有的抗污染性和坚固设计: 德国 PH-Instruments 超过20年设计制造 SRG 转子规经验, 推出全金属传感器设计以及真空内部没有电气穿透件的磁悬浮转子真空计, 对机械应力和腐蚀性气体具有独特的抵抗力, 坚固的设计使其比灯丝型离子规或精细膜片电容规对比, 显著不易受污染.  


二、高精度和长期稳定性: SRG 旋转转子真空计以其高精度而闻名, 表现出卓越的长期稳定性, 一些报告显示校准系数在 20年内变化小于 0.2%. 下图为初期使用离子真空计 Ion gauge 受到制程气体影响, 压力值失真明显飘移不稳定; 替换为 SRG 旋转转子真空计 后, 稳定测量制程真空压力.


三、计量和校准标准「NIST可追溯性」: 几十年来, SRG 旋转转子真空计一直被计量和校准实验室信赖为真空校准的精密传递标准. 它们提供 NIST 可追溯性, 确保关键应用所需的测量一致性和可靠性. 这种能力使其可以在制程腔体中进行现场使用, 以确保高真空计读数的准确性和制程机台之间的一致性, 从而实现可重复的制程结果与高稼动率.

上海伯东 SRG 旋转转子真空计具有「NIST可追溯性」, 表示其在计量校正上的优越性. 如果 SRG 足够准确和稳定以校准其他高真空计, 那么它本身就具备了更苛刻的直接制程测量所需的质量.

四、兼容性强, 适用于系统集成: 标准工业模拟接口, 数字接口, 方便真空压力校准系统配置计算机上位机软件, 实现远程或本地计算机操控, 全自动校验, 数据存储等功能.


上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计主要型号

* SRG 磁悬浮转子真空计可以替代离子规, 电容薄膜真空规, 诸如 MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, Inficon HPG400,  Inficon MPG400 等型号.

上海伯东 SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 适配更加严格的高精度真空压力校准系统.

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上海伯东: 叶小姐
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