Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 700

簡介

Pfeiffer 普发 HiPace 700 稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证

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技术规格

上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 700, 对氮气抽速可达到 685 l/s, 紧凑设计, 低能耗的同时保证分子泵更高抽吸能力.
涡轮分子泵 HiPace 700 占地面积小, 任意位置安装. 适用于工业环境-保护等级 IP 54, 通过半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过分子泵控制器监控运算数据, 集成风冷. 可选分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多种密封方式和配件供选择, 上海伯东可协助客户选型并提供完善的售后维修服务.

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 700 技术参数

进气口		DN 160 ISO-K	DN 160 CF-F	DN 160 ISO-F	DN 160 ISO-K	DN 160 CF-F	DN 160 ISO-F
分子泵控制器	型号	标配 TC 400	标配 TC 400	标配 TC 400	选配 TCP 350	选配 TCP 350	选配 TCP 350
抽速	Ar L/S	665	665	665	665	665	665
	H₂ L/S	555	555	555	555	555	555
	He L/S	655	655	655	655	655	655
	N₂ L/S	685	685	685	685	685	685
压缩比	Ar	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹
	H₂	4X10⁵	4X10⁵	4X10⁵	4X10⁵	4X10⁵	4X10⁵
	He	3X10⁷	3X10⁷	3X10⁷	3X10⁷	3X10⁷	3X10⁷
	N₂	>1X10¹¹	>1X10¹¹	>1X10¹¹	>1X10¹¹	>1X10¹¹	>1X10¹¹
全转速时气体流量	Ar hPa l/s	3.5	3.5	3.5	1.5	1.5	1.5
	H₂ hPa l/s	>14	>14	>14	>8	>8	>8
	He hPa l/s	20	20	20	5	5	5
	N₂ hPa l/s	6.5	6.5	6.5	3	3	3
极限压力	hPa	＜1X10^-7	＜5X10^-10	＜1X10^-7	＜1x10^-7	＜5x10^-10	＜1x10^-7
最大预抽真空	N₂hPa	11	11	11	11	11	11
电压 ± 5 %	VDC	48	48	48	48	48	48
最大电流	A	8.4	8.4	8.4	8.75	8.75	8.75
转速± 2 %	RPM	49200	49200	49200	49200	49200	49200
声噪	dB(A)	≤50	≤50	≤50	≤50	≤50	≤50
允许最大磁场	mT	6	6	6	6	6	6
启动时间	min	2	2	2	5.5	2.5	2.5
重量	kg	11.5	17.4	12.1	10.6	16.5	10.6

* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
* P 系列: 耐粉尘
* PLUS 系列: 极微振动,杂散磁场低
* H 系列: 更高的压缩比,尤其适用于轻质气体

Pfeiffer 普发涡轮分子泵应用 HiPace 700
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光学镀膜, 硬质涂层
工业: 医学技术, 工业检漏, 电子束焊接, 隔离真空, 热处理, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: 超高真空排气台, PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks

上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列凭借紧凑结构和卓越性能, 适用于高真空和超高真空应用.HiPace 涡轮分子泵采用混合或磁悬浮轴承系统, 确保低噪音和低振动运行. 此外, 涡轮分子泵 HiPace 还提供特殊型号, 包括针对氢气等轻质气体压缩的版本, 以及配备耐腐蚀涂层的型号. 这些丰富的专用版本选择, 使 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 为涂层, 半导体制造和分析应用提供更优的解决方案.

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