ThermoChuck 是用于晶圆测试的导电加热和冷却系统, 一般搭配晶圆探针台共同使用, 提供 -65 至 +200°C 高低温环境, 适用晶圆 150 mm, 200 mm, 可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试, 例如低泄漏探测 (fA级) 和高电压探测 (高达10 kv)
技术参数
适用晶圆尺寸: 150 和 200 mm
电压 115V 或 220V
|
型号 |
温度范围°C |
冷却 |
加热 |
|
TP03000A |
-65 to +200°C |
机械制冷, 密闭乙二醇循环冷却 |
热电 |
|
TP03010A |
+20 to +200°C |
风冷或水冷* |
热电 |
|
TP03010B |
0 to +200°C |
密闭乙二醇循环冷却或水冷 |
热电 |
* 用户提供冷却介质
