上海伯东代理德国 ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器, 基于旋转转子压力表技术, 长期稳定 < 每年 1 % 的漂移, 高精度 1 %, 可替代离子注入工艺中的离子规, 解决常规离子规经常失效, 信号漂移等问题.

Dositorr SRG 高真空传感器在离子注入工艺中的技术优势
无漂移: 意味着稳定的可重复真空读数
SRG 旋转转子压力表技术的磁悬浮传感器: 免维护
耐腐蚀, 无污染, 对沉积不敏感
耐磁场, 振动, 高压和高温环境
查看实际压力读数, 放气等
与真空无相互作用: 超洁净
真空区无馈通: 全电磁
可更换, 可清洗的传感器, 减少停机时间, 降低维护成本
查看真实的压力读数, 放气等


Dositorr SRG 高真空传感器可以替代离子注入工艺中的 ion source 离子规



上图是 Implant process 离子注入工艺中的评估比较
离子规 (红色) 和 Dositorr SRG 高真空传感器（绿色）压力读数比较. 红色箭头指向离子规的更换. 

Dositorr SRG 高真空传感器技术规格

若您需要进一步的了解 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 请参考以下联络方式

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