HiPace 800 稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
涡轮分子泵 HiPace 800 抽速: 790 l/s
簡介
HiPace 800 稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
技术规格
上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 800, 抽速可达 790 l/s 的涡轮分子泵. 分子泵占地面积小, 高气通量和高抽吸能力. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器, 监控运算数据保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 800 可选控制器 TC 400 或 TCP 350, 另有分子泵 HiPace 800P 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域. 对标 Edwards STP 磁悬浮分子泵.
涡轮分子泵 HiPace 800 技术参数
|
分子泵型号 |
接口 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最高启动压强mbar |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
HiPace 800 |
200 |
25 |
790 |
700 |
580 |
> 1X1011 |
11 |
< 1X10–7 |
6.5 |
2 |
12.8 – 19.1 |
涡轮分子泵 HiPace 800 P 系列, 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域.
涡轮分子泵应用 HiPace 800 应用
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD
工业: 灯管制造
研发: 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection
上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列凭借紧凑结构和卓越性能, 适用于高真空和超高真空应用.HiPace 涡轮分子泵采用混合或磁悬浮轴承系统, 确保低噪音和低振动运行. 此外, 涡轮分子泵 HiPace 还提供特殊型号, 包括针对氢气等轻质气体压缩的版本, 以及配备耐腐蚀涂层的型号. 这些丰富的专用版本选择, 使 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 为涂层, 半导体制造和分析应用提供更优的解决方案.
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