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Pfeiffer 普发耐腐蚀电容真空计 CNR 36X 温度补偿(非加热), 多接口可选
测量精度为测量值的 0.2%
采用 P-Control, 与压力控制阀配合使用效果卓越
采用耐腐蚀陶瓷技术, 可实现稳定的过程监测, 零点漂移极小, 具有出色的长期稳定性和温度稳定性
交货附带校准测试报告
符合 SEMI S2 标准
或直接联络客服: 139-1883-7267
耐腐蚀电容真空计 CNR 36X 耐腐蚀陶瓷技术,零点漂移极小
簡介
Pfeiffer 普发耐腐蚀电容真空计 CNR 36X 温度补偿(非加热), 多接口可选
测量精度为测量值的 0.2%
采用 P-Control, 与压力控制阀配合使用效果卓越
采用耐腐蚀陶瓷技术, 可实现稳定的过程监测, 零点漂移极小, 具有出色的长期稳定性和温度稳定性
交货附带校准测试报告
符合 SEMI S2 标准
技术规格
上海伯东代理 Pfeiffer 普发 CNR 系列耐腐蚀性电容真空计, 采用隔膜传感器和自加热技术, 可在涉及腐蚀性或热气体(如镀膜)的应用中实现更高准确性. 型号包含 CNR 361, CNR 362, CNR 363, CNR 364, CNR 365, CNR 366.
Pfeiffer 普发耐腐蚀真空计 CNR 36X 技术参数
|
型号 |
CNR 361 |
CNR 362 |
CNR 363 |
CNR 364 |
CNR 365 |
CNR 366 |
CNR 366 |
|
进气法兰 |
8 VCR 或DN 16 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
|
电气接口 |
D-Sub，15 极，针式 |
D-Sub，15 极，针式 |
D-Sub，15 极，针式 |
D-Sub，15 极，针式 |
D-Sub，15 极，针式 |
D-Sub，15 极，针式 |
D-Sub，15 极，针式 |
|
满量程 |
1000 Torr |
100 Torr |
10 Torr |
1 Torr |
0.1 Torr |
20 Torr |
500 Torr |
|
测量范围 |
9.998 X10-2 至 999.75 Torr |
9.998X10-3 至 99.98 Torr |
9.998X10-4 至 10 Torr |
9.998X10-5 至 1 Torr |
9.998X10-6 至 9.998X10-2 Torr |
2X10-3 至20 Torr |
5X10-2 至 499.95 Torr |
|
测量精度 |
0.2 %（测量值） |
0.2 %（测量值） |
0.2 %（测量值） |
0.2 %（测量值） |
0.2 %（测量值） |
0.2 %（测量值） |
0.2 %（测量值） |
|
温度影响：在范围上 |
测量值的 0.01%/°C |
测量值的 0.01%/°C |
测量值的 0.01%/°C |
测量值的 0.01%/°C |
测量值的 0.01%/°C |
测量值的 0.01%/°C |
测量值的 0.01%/°C |
|
温度影响：在零点 |
0,005 % F.S./°C | 41 °F | 278.15 K |
0,005 % F.S./°C | 41 °F | 278.15 K |
0,005 % F.S./°C | 41 °F | 278.15 K |
0,005 % F.S./°C | 41 °F | 278.15 K |
0,005 % F.S./°C | 41 °F | 278.15 K |
0,005 % F.S./°C | 41 °F | 278.15 K |
0,005 % F.S./°C | 41 °F | 278.15 K |
|
输出信号：测量范围 |
0 – 10 V |
0 – 10 V |
0 – 10 V |
0 – 10 V |
0 – 10 V |
0 – 10 V |
0 – 10 V |
|
解析度 |
0.003 % F.S. |
0.003 % F.S. |
0.003 % F.S. |
0.003 % F.S. |
0.003 % F.S. |
0.003 % F.S. |
0.003 % F.S. |
上海伯东代理 Pfeiffer 普发真空计提供模拟信号真空计 ActiveLine, 模块化真空计 ModulLine, 数字真空规 DigiLine, 手持真空计, 配套真空计显示器以及完全替代莱宝真空计 CenterLine 满足各类真空应用, 协助客户选型并提供完善的售后维修服务.
对于每种应用, 上海伯东都可以根据您所需的精度, 压力范围和物理测量原理选择合适的真空计. Pfeiffer 普发真空计配备了优化的配件, 并通过首选接口确保顺畅的通信.
另有 SRG 磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀和沉积, 高精度, 长期稳定, 了解详细信息 >>
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