上海伯东德国 ph-instruments 旋转转子真空计 SRG 中国总代理. 本文主要介绍 SRG 转子规可拆卸结构与测量原理

一、SRG 旋转转子真空计可拆卸结构
德国 ph-instruments 旋转转子真空计 SRG 主要由测量探头, 控制 / 读数单元以及一根不锈钢测量管组成. 测量管内装有一枚直径 4.5毫米的滚珠, 该滚珠作为压力感应元件.

测量探头内置磁体与线圈组件, 可实现感应滚珠的磁悬浮, 振荡阻尼, 转速驱动及转速检测功能, 同时还集成了温度传感器. 不锈钢测量管一端为密封结构, 另一端通过焊接或法兰接口与真空腔体相连, 因此测量管与感应滚珠均属于真空腔体的组成部分.

该感应元件无需向外部接入任何机械传动结构或电气引线. 测试时, 将旋转转子真空计的测量探头套在测量管上, 借助探头内置的水准器完成垂直校准后, 再将探头固定.
测量过程中, 感应滚珠在磁场作用下实现悬浮, 几乎无摩擦地自由旋转, 先将滚珠加速至每秒 600 转以上, 随后停止驱动, 让滚珠依靠惯性空转. 测量管内的气体分子会撞击旋转的滚珠, 通过切向动量传递产生分子阻力, 进而使滚珠转速逐步下降.
得益于上述设计, 上海伯东 ph-instruments 磁悬浮转子真空计 SRG 无灯丝, 磁屏蔽设计,  在真空腔体中无任何电子设备, 无馈通, 采用机械测量的原理, 全金属材质, 耐高温, 超洁净, 确保耐腐蚀和沉积, 不会出现任何的二次污染.

二、旋转转子真空计 SRG 测量原理与计算公式
测量探头会持续检测感应滚珠的角速度, 以此计算出转速衰减速率
研究表明, 在分子流区间（压力低于10⁻³ mbar） 内, 自由旋转球体的相对减速率 γ 与气体压力 p 成正比, 与气体分子平均运动速率 c 成反比, 对应计算公式如下

其中 σ 是有效切向动量适应系数（即摩擦系数）, ρ是球体的密度, a是球体的半径. 系数σ表示切向动量传递的程度; 如果动量完全传递, 则其值为1. 使用传感器球时, σ与此理想值的偏差小于1%. 因此 ph-instruments VIM-2 旋转转子真空计属于基准型真空计, 出厂后无需额外校准. 当压力高于 10⁻³ mbar 时, 气体粘度带来的影响会逐渐增大——撞击滚珠的气体分子会与从滚珠表面反弹的分子发生碰撞, 使得减速率 γ 随压力变化的趋势小幅减弱, 出现饱和效应. 该饱和效应可通过精准建模进行补偿: ph-instruments SRG 旋转转子真空计依托集成式温度传感器实时采集温度数据, 结合随温度变化的气体粘度参数,  在压力计算过程中运用专属线性化算法完成修正.

只要规范使用感应滚珠, 其摩擦系数 σ 可长期保持稳定. 因此上海伯东代理德国 ph-instruments SRG 旋转转子真空计具备极佳的长期稳定性与测量重复性. 即便电子线路出现正常老化, 也不会影响测量结果的复现性, ph-instruments 转子规终身无需重新校准.


计量和校准标准: 几十年来, SRG 旋转转子真空计一直被计量和校准实验室信赖为真空校准的精密传递标准. 它们提供 NIST 可追溯性, 确保关键应用所需的测量一致性和可靠性. 这种能力使其可以在制程腔体中进行现场使用, 以确保高真空计读数的准确性和制程机台之间的一致性, 从而实现可重复的制程结果与高稼动率.

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