计量级真空计作为真空量值传递标准, 适用于计量院, 第三方校准实验室, 半导体, 镀膜, 低温绝热, 科研装备等高真空精密测量场景. 上海伯东代理德国 PH‑Instruments 磁悬浮转子真空计基于旋转转子 SRG 技术开发, 在 0.01 至 1 x 10^-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蚀抗污染, 长期稳定!

一、什么是计量级 SRG 磁悬浮转子真空计
磁悬浮转子真空计( SRG, Spinning Rotor Gauge )属于直接物理测量原理, 依靠钢球转子转速衰减速率计算真空压力, 无灯丝电离, 不受气体组分干扰, 是高真空段重要的真空传递标准器, 区别于一般的皮拉尼, 电离或薄膜真空计, 更加适用于真空计校准检定和在线高精度真空过程监测.

二、德国 PH‑Instruments 品牌核心优势
德国 PH‑Instruments 团队拥有二十余年 SRG 磁悬浮转子真空计研发制造经验, 针对传统真空计抗振差, 维护繁琐等痛点做了迭代优化, 兼顾计量溯源能力与工业现场耐受性, 核心优势如下
1. 真空腔体内部无任何电子元器件, 全金属传感器结构, 真空侧无电气馈通, 全部不锈钢材质, 无胶水, 塑料部件; 可耐受腐蚀性工艺气体, 工艺沉积物, 相比离子规, 不会出现灯丝污染, 烧断, 电极溅射污染问题, 大幅降低故障与更换耗材成本, 可直接替代热阴极, 冷阴极电离规在线使用.

2. 优异长期计量稳定性, 漂移极低, 高真空区间 0.01 mbar 至 1×10⁻⁶ mbar 测量精度可达读数的 1%; 长期漂移 ＜1.5%/ 年, 部分工况下校准系数二十年内变化小于 0.2%, 支持 DAkkS, PTB 等级计量校准证书, 量值可溯源, 满足计量建标, 实验室比对要求.

3. 强化磁悬浮轴承, 抗振动, 抗倾斜能力强, 不局限于安静计量实验室使用, 更适配半导体产线设备, 低温移动储罐等工况复杂现场, 抗工业磁场干扰, 屏蔽性能优秀.

4. 免耗材, 长使用寿命, 总拥有成本低: 没有灯丝, 易损耗电极等消耗件, 无需频繁采购备件; 长期稳定运行, 减少设备停机维护时间, 提升产线 OEE.

5. 提供分体式模块化设计型号, 兼顾 OEM 集成与便携计量, 传感器探头与控制单元分离, 支持高温烘烤; 接口丰富 USB‑C, RS485, 0‑10V 模拟输出, 即插即用.

三、德国 PH‑Instruments 计量级真空计主要型号