问题

解答

SRG 转子规测量方法的工作原理是什么？

测量真空腔内磁悬浮钢球的旋转频率变化.

传感器 / 转子球尺寸,材质是什么？

1.4034 不锈钢, 直径 4.5 mm, 抛光淬火轴承钢球

为什么 SRG 转子规不会老化？

磁悬浮非接触式设计; 无灯丝, 无高温元器件; 无机械应力; 转子采用淬火轴承钢球

SRG 转子规是否具备高洁净度?

PH-Instrument 提供经过高真空清洗的传感器; 三级清洗工艺（去除盐类, 金属杂质, 碳氢化合物, 水蒸气）竞品无此工艺.

断电时会发生什么？

钢球失去磁悬浮, 在测量管内自由滚动; VIM-2 会切换电池供电; 设备重启后必须重新设置零点

为什么测量方法不会干扰工艺过程？

SRG 转子规真空侧无电子器件; 无灯丝; 无离子电流; 无溅射, 吸气, 放气效应, 纯磁-机械测量原理

SRG 转子规量程是多少？

标称量程: 10 mbar～5×10⁻⁷ mbar; 可在 1000 mbar下工作, 但该压力区间无精度指标.

绝对测量精度是多少？

经过校准的传感器: 读数的±1%; 未校准筛选传感器; 读数的±6%

SRG 转子规能否在大气压下工作？

可以运行, 但大气压工况更适合选用其他类型真空计.

SRG 转子规是否可以高温烘烤？

可以; 全金属结构, 测量管内无电子器件; 最高烘烤温度 450 ℃.

机械安装复杂度如何？

可使用标准法兰, 也可将测量管直接焊接到工艺腔体

零点如何设置？

可通过图形界面 GUI, 读数单元, SRG 转子规本体按键设置; 需要智能算法, 且压力必须稳定低于 2×10⁻⁷ mbar

零点何时会发生偏移？

供电中断, 传感器头从测量管拆下, 传感器头与电子单元通信中断.

为什么 SRG 转子规耐腐蚀？

钢球经过抛光, 无可供分子侵蚀的表面; 不锈钢材质; 室温工作; 无真空馈通

为什么 SRG 转子规受镀膜沉积影响小？

仅取决于钢球直径, 与电气特性（阳极/阴极）无关; 对于 4.5 mm 球体, 微米级镀层几乎不产生影响

传感器系统使用哪些材料？

1.4034 不锈钢, 1.4404 不锈钢

如何将传感器管密封安装到设备上？

使用 CF, KF各类法兰, 或者焊接

PHI 转子规提供哪些标准接口？

USB-C, 高密度 15针接口

传感器管可选材质？

玻璃或不锈钢

几十年后还能正常工作吗？

可以, SRG 技术可稳定运行数十年

传感器与评估单元平均寿命？

10年以上, 按设备整机寿命设计

传感器管安装姿态要求？

理想水平（±2°, 最大允许±5°）, 防止倾斜, 保障旋转状态

传感器头是否会发热？

压力高于100 mbar 工况会发热; 内置温度传感器, 70 ℃ 设备自动停机

什么是皮鲁埃特效应（Pirouette Effect）？

描述旋转物体质量分布对旋转频率带来的影响; SRG 转子规中钢球冷却收缩会造成测量值偏移.

钢球多久重新加速一次？

取决于压力; 1 mbar 下每隔数秒; 10⁻⁷ mbar下 间隔可达数天.

随便用轴承钢球都可以吗？

不行; 筛选后最多 80%可用, 高端校准场景仅 10%. 

市场上任意钢球/传感器都可以测量吗？

可以

测量管抗机械损伤能力如何？

标配可旋装重型防护套管

传感器可以对接竞品设备（如MKS）吗？

可以

读数单元安装需要工具吗？

不需要, 直接插接即可

SRG 转子规可以替代冷阴极离子规吗？

可以, 提供即插即用方案

SRG 转子规可以替代热阴极离子规吗？

可以, 提供即插即用方案

重新校准时需要寄回整套设备吗？

不需要, 仅寄回传感器组件即可

用户可以自行清洗传感器管 / 传感器吗？

可以, 支持用户现场清洗。

产品产地？

奥地利, 欧洲供应链

可持续性？

SRG 转子规全部不锈钢材质; 长寿命, 少废弃物; 不使用胶水, 塑料; 支持重新校准与维修

故障率？

公司自 2019 年成立以来, 无已知电气, 机械失效案例

工厂校准分哪些等级？

DAkkS（德国认可实验室）, CAL（ 依据 ISO 3567 / 24477 工厂校准并出具证书), SEL (筛选级), PTB ( 德国国家最高计量标准) 

PHI-SRG 转子规对比 MKS SRG -3 优势？

磁悬浮轴承承载力高一倍, 抗振动, 抗倾斜更强; 无易损运动件; 耐久性更高; 即插即用; GUI 图形软件; 操作简单; VIM-2 型号支持电池便携使用

SRG 转子规成本优势？

无需备件, 无需更换漂移老化灯丝; 近乎无限寿命, 已有部分设备使用满 30年.

SRG 转子规哪些部件需要校准？

根据应用确定转子钢球 / 传感器; 低温（Cryo）应用本身固有精度高, 无需校准

用户可以自行更换传感器吗？

VIM-2 与 Calitorr 机型用户可自行更换钢球; 建议优先由上海伯东或 PHI 工程师更换

一台设备可读取多少个传感器？

数量无限制

SRG 转子规会漂移吗？

漂移极低（每年＜1.5%）; 被 NIST, PTB, AIST 等机构作为传递标准验证

传感器是否可更换？

除焊接固定底座（焊接锁紧夹, 最大化安全）以外的法兰均可更换传感器

为什么需要可更换传感器？

用于重新校准, 清洗, 满足 ISO 体系要求

用户可以自行更换传感器吗？

SEL 筛选级用户可自行更换; CAL/DAkkS 级建议由 PHI 服务完成

腔体与腔体之间匹配, 绝对精度是否重要？

非常重要（低温应用除外）

零点多久调整一次？

低温工况: 几乎不用; 半导体工艺取决于工况; 标准运行条件下基本无需调整

狭小空间是否可以使用 SRG 转子规？

可以, 选用 Transducer Extend 加长型; 也可通过 T型接头远离工艺腔体布置; 需要与离子规保持距离, 避免污染

工艺应用中绝对精度重要吗？

重要; 真空计校准系统绝对精度优先, 但长期稳定性（重复性）更加关键

VIM-2 适合什么场景？

低温应用（分体结构, 传感器端无电子器件）; 校准场景; 测量管最高烘烤450 ℃

SRG 转子规测量精度与重复性如何？

未工厂校准固有精度 ±6%; 校准后 ±1%; 长期稳定性优异

外界磁场会对转子规产生什么影响？

铁磁外壳屏蔽, 不受普通工业磁场干扰

CF 法兰是否合适？

金属密封, 面向高端高要求应用; 需要 6组螺栓螺母拆装

为什么真空计校准系统优先选用 SRG 转子规？

高绝对精度, 低漂移, 公认的传递标准

SRG 转子规会向工艺腔体辐射磁场吗？

不会; 铁磁外壳实现磁场封闭

KF 法兰是否合适？

弹性密封圈密封, 最高到10⁻⁷ mbar; 卡箍快速拆装

SRG 转子规可以做灭菌处理吗？

完全可以; 优质316L不锈钢, 结构简单

是否适用于高温工况？

可以, 高温型 SRG 转子规最高可达 100 ℃; 是该温度下唯一高真空测量设备

Transducer 变送器是否合适？

需要集成嵌入系统的场景; 零点与校准参数预配置, 即插即用

Tri-Clover 卫生法兰适用吗？

冻干工艺适用, PHI 可提供

可以测量氢气吗？

可以, 支持氢气测量

Transducer 变送器是否支持在线监测？

适用于低温医疗应用, 液化气输送

焊接底座方案适合吗？

仅推荐低温场景; 优势是泄漏风险最低,寿命长。

低温版本为什么传感器不可更换？

数十年运行也绝不允许钢球从管内脱落; 保证超高洁净

为什么低温工况绝对精度要求可以放宽？

测量横跨 10⁻⁵～10 mbar 多个数量级

低温应用需要设置零点吗？

不需要; SRG 转子规固有分辨率到 10⁻⁵ mbar, 无需零点

倾斜安装还能测量吗？

可以, 但会损失绝对精度

低温技术中 SRG 转子规优势？

高绝对精度, 不对真空产生干扰, 长寿命, 低漂移, 分体式系统

能否提供 3.1 材质检验证书？

可以, 用于材质溯源和规格证明

1秒响应时间有什么意义？

半导体工艺非常关键; 低温, 冻干, 校准场景不重要

SRG 转子规测量速度？

快速模式 1秒; 一般 1-30秒, 取决于压力区间

半导体行业使用 SRG 转子规优势？

高绝对精度与重复性; 不干扰工艺; 长寿命; 漂移极小

脱气腔室为什么适合 SRG 真空计？

SRG 可以测量氢气（离子规做不到）; 抗污染, 抗沉积

SRG 转子规能否实时修正离子规信号？

可以, 搭配 Booster 辅助模块

SRG 转子规能否半自动校准离子规？

可以, 搭配 Booster 辅助模块

SRG 转子规多久需要重新校准？

非可凝性气体理论上无需校准; ISO 3567 标准建议参考标准每年校准一次

校准系数是否和气体种类相关？

几乎无影响, 可忽略

测量结果是否受气体种类影响？

会, 但仅和摩尔质量平方根相关（物理规律已知）

测量结果是否受温度影响？

会, 但仅和温度平方根相关（物理规律已知）

如何避免严重凝露？

使用高温版 SRG 转子规（最高100 ℃）

不做零点调整, 精度如何？

典型残余拖拽偏移：1×10⁻⁵～3×10⁻⁵ mbar

不使用校准系数, 精度如何？

最大偏差为读数的 ±6%

替换不同厂家离子规工作量多大？

确认法兰与离子规型号; 即插即用

替换离子规风险多大？

无风险, 100% 替换成功率

变送器输出哪些信号？

Modbus, 可选 ASCII, 可选 LabView 驱动, 模拟量 0-10 VDC

传感器管最高耐温？

弹性密封: 150 ℃；金属密封烘烤: 450 ℃。

是否有高温气体摩擦真空计？

有, PH-Instruments 高温SRG 转子规, 2025年全球首发

SRG 转子规理想测量区间？

10⁻²～1×10⁻⁶ mbar; 核心优势区间10⁻⁴～10⁻⁶ mbar

能否测量低于1×10⁻⁷ mbar？

不推荐, 仅限专业专家场景

SRG转子规主要应用场景？

半导体离子注入, 脱气, 低温真空, 真空绝热, 真空计校准系统

SRG 转子规最早应用领域？

计量校准（PTD）

变送器和实验室 SRG 转子规区别？

变送器自主运行, 面向系统集成; VIM-2 相比手动实验室设备, 一键式便携操作

是否需要手动设置测量时间？

不需要, 具备自适应模式

可选择的响应时间？

1、3、5、10、20、30 秒或自适应; 快速模式1秒

抗振动性能？

磁悬浮轴承承载力是竞品两倍, 抗振动较好

是否具备ATEX防爆认证？

暂无, 但可以做认证

工业PVD物理气相沉积优势？

适配该工艺起始压力 2×10⁻⁵ mbar

SRG 转子规在干法刻蚀 Dry-Etch 优势？

高精度, 不干扰工艺, 低漂移, 抗沉积, 耐温100 ℃

冻干工艺优势？

高精度, 可灭菌, 长期稳定, 低漂移

离子束/分子束应用优势？

高精度, 重复性好, 不干扰工艺, 寿命长

提供哪些校准等级？

SEL 筛选级, CAL 工厂校准, DAkkS 认可实验室, PTB 国家计量院

是否存在真空馈通？

完全没有任何馈通

电子单元与传感器最大距离？

标准最大5 米; 特殊版本可达10 米

抗辐射能力？

电子单元可分离最远5 米（特殊10米）放置于辐射屏蔽区; 不锈钢传感器本体耐辐射能力强

变送器有哪些优势？

即插即用, 预配置参数, 自主测量

能否1:1直接替换离子规？

可以，前提是 10⁻²～5×10⁻⁷ mbar 范围内, 1秒响应可接受

如果1秒响应不够怎么办？

搭配 Booster 模块, 与离子规并行测量, 实现原位校准

VIM-2供电？

24 VDC; 配套 100-240 VAC 电源适配器

是否有电池供电便携式气体摩擦真空计？

有, VIM-2 支持市电与电池双模式

单次测量耗时？

1-30 秒, 取决于允许不确定度与压力

数据如何保存？

GUI 软件导出.csv；VIM-2 本机存储1023条记录（含时间戳, 压力, 温度）

数据导出格式？

.csv文本; 模拟量 0-10 V

配套操作软件？

标配 U盘提供软件

改造替换施工时长？

约 1小时

改造替换风险？

零风险

模拟输出信号？

0-10 VDC, 0-10 mVDC

信号延迟？

数字输出 ＜60 ms；模拟输出零延迟

为什么推出高温 SRG 转子规型号？

满足灭菌需求, 同时防止气体凝露

PH-Instruments 累计生产多少台 SRG 转子规？

约 600台

传感器系统适合户外使用吗？

可以, 全不锈钢金属结构

断电会改变校准状态吗？

不会, 影响可忽略

SRG 转子规可安装位置？

离子规点位 IG1-3, 脱气腔, 低温真空储罐, 输送管路, 控制柜面板, 液氢加注站等

SRG 转子规适配哪些设备？

离子注入机, 集群设备（PVD/CVD）, 高温炉, 溅射设备, 工业 PVD , 离子束设备

SRG 转子规对比离子规精度？

相比全新离子规, 精度至少高20倍, 几乎无漂移

SRG 对比离子规寿命？

SRG＞10年; 离子规通常数周至最长1年

SRG 对比离子规重复性？

重复性高, 几乎无漂移

SRG 测量腔材质组成？

全部不锈钢

SRG 对比离子规线性度？

SRG 对所有气体 100%线性; 离子规需要针对不同气体多点校准

SRG 转子规在哪段压力完全线性？

分子流区间, ＜10⁻² mbar

高于该压力区间表现如何？

通过内置温度传感器反馈补偿

是否有补偿, 是什么补偿？

萨瑟兰 Sutherland 补偿

超出线性区间后精度变化？

10⁻²～10 mbar, 精度从 1% 平滑变化到 10%

SRG 气体依赖性低且可补偿的原因？

仅存在平方根关系; 摩尔质量与温度均可明确测量

SRG 温度依赖性低且可补偿的原因？

仅存在平方根关系; 传感器端持续采集温度

SRG 转子规温度补偿需要手动设置吗？

不需要, 温度传感器集成在传感器头部

SRG 转子规抗振动原因？

90 mT 强磁悬浮轴承, 钢球旋转频率 600 Hz

离子注入机上 SRG 转子规安装位置？

IG1, IG2, IG3 离子规点位

IG1 点位 SRG 优势？

重复性好, 腔体之间读数匹配, 无漂移, 抗污染; 快速识别泄漏与放气; 替代老旧控制器

IG2 点位 SRG 转子规优势？

同 IG1: 高重复性, 绝对精度, 无漂移, 抗污染; 按整机寿命设计

IG3 点位 SRG 转子规优势？

通过 Booster 模块作为离子规参考消除漂移; 识别低温泵故障, 减少停机时间

IG3 点位 SRG 转子规在压力补偿方面带来什么收益？

成品率提升1%以上; 晶圆均匀性最高改善5%; 晶圆报废量最高下降 100%

IG3 使用 SRG 转子规能否避免晶圆报废？

可以; 提前识别漂移, 对离子规重新校准

IG3 使用 SRG 能否避免成品率损失？

可以; 提前识别漂移, 对离子规重新校准

IG3 使用 SRG 转子规能否避免设备停机？

可以; 提前识别漂移, 对离子规重新校准

IG3 使用 SRG 转子规能否避免不必要低温泵更换？

可以; SRG 转子规作为参考区分是仪表漂移还是真实压力变化

IG3 使用 SRG 能否缩短预防性维护后的停机时间？

可以, 更快完成设备合格/不合格判定

IG3 使用 SRG 对离子规寿命有影响吗？

可以, 漂移发生时触发重新校准, 延长离子规可用周期

IG3 使用 SRG 对离子规精度有影响吗？

可以, 提升离子规测量精度

哪类离子注入机 IG1 最需要 SRG 转子规？

大束流离子注入机

哪类离子注入机 IG3 最需要使用 SRG 转子规？

所有带压力补偿, 批量处理机型

IG3 针对低温泵解决什么痛点？

精准区分故障来自真空计还是低温泵本体

SRG 转子规可以接 T型接头,弯头吗？

可以, 无负面影响

哪些工艺优先选用 SRG 转子规？

离子注入机, 低温储罐, 输送管路, 容器, 拖车, PVD 设备, 真空计校准系统

SRG 转子规能否替代老旧离子规？

可以, PH-Instruments 提供即插即用改造

能否替代老旧 0-10 mV 离子规？

可以, 即插即用

1:1 替换成功率？

100%

SRG 变送器改造耗时？

最长 1 小时

离子注入设备上 SRG 转子规寿命？

和整机设备同寿命

SRG 转子规是否需要阀门隔离腔体？

不需要, 设备鲁棒性极强

变送器抗电弧吗？

抗电弧

可以检测瞬态异常（glitch）吗？

可以, 已用于筛选不良晶圆

对高级工艺控制 APC 是否有益？

有益. SRG 转子规无漂移, 不怕污染, 故障率低

实现腔体之间读数匹配吗？

可以, 高精度, 高重复性

离子源（IG1）泄漏检测？

可以

检测材料放气？

可以

识别 MFC 质量流量控制器漂移？

可以

监测含氢工艺气体？

可以

VIM-2 对比竞品优势？

更强磁悬浮轴承; 便携一键操作; 免工具安装; 更好磁屏蔽

PHI 转子规法兰对比竞品差异？

PHI 提供全系列法兰 (CF40, 焊接底座等）; 一体成型; 标配机械防护套管.

DosiTorr 转子规连接能力？

USB-C, HD15, 在线监测

DAkkS 校准周期？

14 周

提供哪些校准类型？

DAkkS, CAL, SEL, PTB

校准周期时长？

CAL/SEL 约1周; PTB 6-12个月

能否测量腐蚀性介质？

可以, 例如三氟化硼 BF₃, 磷化氢 PH₃等

传感器到主机信号传输方式？

感应耦合, 无馈通, 无泄漏风险

钢球重新加速会不会打断连续测量？

不会, 重加速仅毫秒级

操作复杂度？

VIM-2一键操作; Dositorr 系列自主运行

能否即插即用替换全部离子规？

SRG 转子规可以替换全部离子规

工艺真空计主要应用领域？

离子/分子束源, 镀膜工艺

减少蒸发损耗效应？

可以, SRG 转子规可以绝热真空侧早期监测

不破坏低温真空腔体实现测压？

可以, SRG 转子规分体结构降低操作风险

高能物理领域可用吗？

可以; SRG 转子规传感器与电子单元最远可分离 5米