基于 SRG 旋转转子量规技术的, 长期稳定的, 计量级真空计校准系统.
ION Check 真空规校准系统 计量级真空计校准系统
技术规格
上海伯东代理德国 ph-instruments ION Check 真空规校准系统, 基于 SRG 旋转转子量规技术的, 长期稳定的, 计量级真空计校准系统..
ph-instruments ION Check 真空规校准系统适用于校准和比较高真空计. 结构紧凑, 设计包含无油高真空系统 Hicube 80, 气体计量单元, 读取和校准具有模拟输出的真空表的硬件和软件.
ION Check 真空规校准系统技术规格
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测量原理 |
旋转转子压力表 |
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可调压力范围 |
5X10-7 mbar 至 1X10-2 mbar (最大 1 mbar) |
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精度 |
0.1 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1% |
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测量时间 SRG |
3, 5, 10, 20, 30 秒 |
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单次循环时间 |
< 1 秒 |
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长期稳定性 |
< 每年 1% 漂移 |
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DUT 数量 |
2个 |
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接口 |
KF 25 |
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高真空泵组 |
Hicube 80 Eco DN 63 CF-F |
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旁通泵 |
隔膜泵 |
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数字接口 |
USB-C, 蓝牙(可选), RS 232, RS 485, 网络接口 |
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软件 |
Win10, ION Check APP |
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兼容插头（包括电缆） |
MKS/GP 354, MKS /GP 355, MKS 971B |
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通用插头 |
CC/HC/皮拉尼, 带 24 VDC 电源和 0-10 VDC 模拟输出（可根据要求提供电缆） |
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校准气体（可选） |
N2 （可根据要求提供） |
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应用案例
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ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规
可以替代离子规 MKS 903 AP,MKS GP 390,MKS GP 355,Inficon HPG400,Inficon MPG400 等型号
SRG 磁悬浮转子规原理和特点(耐腐蚀,高精度,长期稳定)
SRG 旋转转子是一种高精度且稳定的真空测量技术, 核心感测组件是一个小型磁悬浮的钢球, 透过管件连接到真空系统内
SRG 磁悬浮转子真空计应用优势
耐腐蚀和沉积, 无灯丝设计, 替代传统的离子规(冷阴极离子规或热阴极离子规)
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在眼科涂层 Opthalmic Coating 中的应用优势
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在镀膜行业（如光学镀膜, 硬质镀膜）中, 其稳定的真空测量可确保膜层厚度均匀性, 减少批次间差异, 提升镀膜产品光学性能与耐用性.
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在光伏行业 Solar Collectors 中的应用优势
SRG 磁悬浮旋转转子真空计可以在玻璃管内工作, 因此可以将带有球的玻璃管焊接到玻璃真空室, 在制造过程中测量真空度.可用于光伏行业的维护, 制造和测试, 且方便拆卸
SRG 磁悬浮转子真空计替代离子规适用于腐蚀和沉积环境
SRG 高精度磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无灯丝设计, 没有内在的污染源, 不会造成二次电离污染沉积. 完全替代离子规, 提供可靠的, 长期稳定的压力测试, 更适合高污染的严苛工艺环境.
SRG 旋转转子真空规与离子规对比
SRG 旋转转子真空计精度高, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）, 适用于半导体, 低温真空绝热, 高精度真空计校准系统.
ph-instruments Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计离子注入应用
SRG 磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无污染, 对沉积不敏感. 可替代离子注入工艺中的离子规, 解决常规离子规经常失效, 信号漂移等问题.
SRG 磁悬浮转子真空计应用于显示面板腔体测量
磁悬浮转子真空计具有长期的坚固性, 高度准确和稳定的压力读数, 耐腐蚀和沉积, 即使在腐蚀工艺中, 其他仪表可能会漂移和失效, SRG 磁悬浮转子真空计无影响.
SRG 旋转转子真空计测量原理
SRG 旋转转子真空计测量原理,稳定测量优势,固有的抗污染性和坚固设计,高精度和长期稳定性
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