Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 1200

簡介

HiPace 1200 对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
监控运算数据尽可能的保证分子泵的安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统

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技术规格

上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可达 1250 l/s 的高性能涡轮分子泵. 涡轮分子泵 HiPace 1200 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 通过控制器, 监控运算数据尽可能的保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 涡轮分子泵 HiPace 1200 通讯接口 RS-485, 远程遥控（Profibus/DeviceNet 备询）, 多种配件供客户选择. 对标 Edwards STP 磁悬浮分子泵.

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 1200 技术规格

型号	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 ISO-K	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 ISO-F	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 CF-F
Ar 压缩比	>1X10⁸	>1X10⁸	>1X10⁸
H₂ 压缩比	6X10³	6X10³	6X10³
He 压缩比	2X10⁴	2X10⁴	2X10⁴
N₂ 压缩比	>1X10⁸	>1X10⁸	>1X10⁸
最大预抽真空, N₂hPa	2	2	2
Ar全转速时气体流量hPa l/s	11	11	6
H₂全转速时气体流量hPa l/s	>30	>30	>30
H_e全转速时气体流量hPa l/s	>30	>30	16
N₂全转速时气体流量hPa l/s	20	20	16
操作电压 V AC	100-120 / 200-240	100-120 / 200-240	100-120 / 200-240
最大电流 A	10	10	10
允许最大磁场 mT	6	6	6
Ar抽速l/s	1200	1200	1200
H₂抽速l/s	1100	1100	1100
H_e抽速 l/s	1300	1300	1300
N₂抽速l/s	1250	1250	1250
转速 ± 2 % rpm	37800	37800	37800
启动时间 min	2.5	2.5	2.5
极限真空 hPa	1X10-7	1X10-7	5X10-10
重量 kg	29.5	30.5	40.9

分子泵应用 HiPace 1200:
镀膜: LED, 光伏, 硬盘镀膜, 硬质涂层, 卷绕镀膜, 光学镀膜, CD / DVD / PVD
工业: 医学技术, 电子束焊接, 隔离真空, 灯管制造
研发: 聚变研究, 等离子研究, 模拟空间站, 粒子加速器, 生物技术
半导体: 超高真空排气台, PVD, CVD, Beamline, MBE

上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列凭借紧凑结构和卓越性能, 适用于高真空和超高真空应用.HiPace 涡轮分子泵采用混合或磁悬浮轴承系统, 确保低噪音和低振动运行. 此外, 涡轮分子泵 HiPace 还提供特殊型号, 包括针对氢气等轻质气体压缩的版本, 以及配备耐腐蚀涂层的型号. 这些丰富的专用版本选择, 使 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 为涂层, 半导体制造和分析应用提供更优的解决方案.

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