高真空抽空时间缩短最多 75%
高速捕集水汽, 最高达 324,000 升/秒
产能提高 20%到 100%
改善镀膜质量, 提高薄膜附着力和多层多膜能力
相比液氮迈斯纳法, 性价比更高
通过电源管理优化, 最大的降低客户的使用成本
设备的高性能适用多种制程
Polycold EVERCOOL 30 水汽深冷泵
簡介
高真空抽空时间缩短最多 75%
高速捕集水汽, 最高达 324,000 升/秒
产能提高 20%到 100%
改善镀膜质量, 提高薄膜附着力和多层多膜能力
相比液氮迈斯纳法, 性价比更高
通过电源管理优化, 最大的降低客户的使用成本
设备的高性能适用多种制程
技术规格
上海伯东代理美国 Edwards 旗下 POLYCOLD® EVERCOOL 30 低温冷泵, EVERCOOL 30 低温冷泵是一个闭环低温制冷系统, 可以提供最高 4,000 瓦的制冷量. 此设备可以将水汽或者其他可以冷凝的介质冻结在一个深冷面上, 这个深冷面可以是冷凝盘管, 也可以是百叶障板 (chevron baffle).
POLYCOLD® EVERCOOL 30 低温冷泵能有效捕集水汽, 占高真空系统内残留气体60% 到95% 比例的水汽是典型的反应性污染气体. 通过使用POLYCOLD® EVERCOOL 30 低温冷泵, 可以提高20% 到100% 的生产效率, 并改善镀膜的质量.
Polycold EVERCOOL 30 水汽深冷泵优点：
高真空抽空时间缩短最多 75%
高速捕集水汽, 最高达 324,000 升/秒
产能提高 20%到 100%
改善镀膜质量, 提高薄膜附着力和多层多膜能力
相比液氮迈斯纳法, 性价比更高
通过电源管理优化, 最大的降低客户的使用成本
设备的高性能适用多种制程
Polycold EverCool 30 技术参数：
|
最大制冷量 |
4000W |
|
最大制冷量下平均温度 |
-95℃ |
|
无负载下极限温度 |
-132℃ |
|
水汽抽速 |
324,000 l/s |
|
最大启动压力 |
1 atm |
上海伯东 EVERCOOL 30 低温冷泵装在客户真空系统后, 可以显著降低真空抽空时间, 提高产能. 使用Polycold® 冷媒, 根据迈斯纳水汽捕集原理设计的 EverCool 30 可以将水汽捕集在迈斯纳冷凝盘管上. 冷凝盘管直接安装在真空腔体内, 这种设计使得系统不再受接头, 进气管, 阀和挡板等冷传导的影响, 低温盘管的安装不需要高真空阀, 可匹配在任何系统中运行. EVERCOOL 30 低温冷泵是最具性价比的提高系统真空度的产品, 可以安装到任何扩散泵, 涡轮分子泵和液氮低温泵的系统中去.
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
资料下载
視頻
