ph-instruments VIM-2 移动式磁悬浮转子真空计

簡介

SRG 旋转转子技术
显示器内置锂电池, 防止因突然断电导致的损坏
方便携带
多种通讯方式, 可以软件连线
自主: 物理测量方式, 不需要电离等过程
高精度测量: 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %
长期稳定, 不受温度的影响
全金属设计
超清洁, 坚固, 耐腐蚀和沉积
典型应用: 离子注入, 干法刻蚀, 真空绝缘, 显示面板, 科研, 计量级真空计校准系统

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技术规格

上海伯东代理德国 ph-instruments VIM-2 移动式磁悬浮转子真空计, 既可固定使用(采用网格式操作)又可移动使用, 显示器内置锂电池, 方便携带. VIM-2 采用 SRG 旋转转子量规技术. 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 长期稳定, 不受温度的影响.

ph-instruments VIM-2 移动式磁悬浮转子真空计技术规格

测量原理	SRG 旋转转子技术
测量范围	7 Torr 至 4 x 10^-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10^-7 mbar)
精度	7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %； 0.07 Torr 至 7 x 10^-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 读数的 1 %
长期稳定性	< 每年 1 % 的漂移
接液材料管/球	1.4404, 1.4034
安装方式	水平
模拟接口	USB Type C、蓝牙、15pin
数字接口	USB、蓝牙、RS 232、RS 485
远程控制	Win 7/10
工作温度	电子元件 10 °C 至 40 °C 测量头 10 °C 至 50 °C 传感器管可烘烤至 150 °C 弹性体密封,450 °C 金属密封
电源要求	18 ~28 VDC
模拟输出	0 - 10 VDC 可配置
法兰类型	KF 25, 8 VCR, 焊接

ph-instruments VIM-2 移动式磁悬浮转子真空计应用
半导体: 离子注入 (替代离子规), 离子刻蚀 IBE, CVD, PVD, 在不打开真空室的情况下进行故障排除和安全检查
低温真空绝缘: 液化气体存储或者运输, 真空绝缘监测, 所有导电真空绝缘应用
真空计校准系统

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