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HiPace 2800 IT 适用于离子注入系统的 Pfeiffer 普发涡轮分子泵
氢气抽速高达 2600 l / s
镀镍转子更耐用
采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
使用寿命更长
或直接联络客服: 139-1883-7267
涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 抽速: 2300 l/s
簡介
HiPace 2800 IT 适用于离子注入系统的 Pfeiffer 普发涡轮分子泵
氢气抽速高达 2600 l / s
镀镍转子更耐用
采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
使用寿命更长
技术规格
上海伯东德国普发 Pfeiffer 适用于离子注入系统的涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT.
在离子注入系统中, 氢气等小分子气体的抽速非常重要, 此款涡轮分子泵精巧的转子设计保证小分子气体的更大抽速, 确保了针对离子注入工艺的适应性, 涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 针对氢气抽速高达 2600 l / s, 是同级别分子泵中佼佼者.
涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能温度管理系统, 减少泵系统内部的工艺冷凝和沉积, 该系统允许单独设置温度, 确保涡轮分子泵能够适应工艺需求. 镀镍转子确保泵本身耐用性.
Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 技术参数
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法兰（进气端） |
DN 250 ISO-F |
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法兰（出气端） |
DN 40 ISO-KF |
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排气连接 |
G 1/8“ |
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氮气抽速 |
2,300 l/s |
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氩气抽速 |
2,100 l/s |
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氦气抽速 |
2,900 l/s |
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氢气抽速 |
2,600 l/s |
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转速 |
±2 % 27,300 rpm |
|
运行时间 |
8.6 min |
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在全转速情况下的氮气气流量 |
16 hPa l/s |
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在全转速情况下的氩气气流量 |
11 hPa l/s |
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在全转速情况下的氢气气流量 |
50 hPa l/s |
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在全转速情况下的氦气气流量 |
24 hPa l/s |
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氮气压缩比 |
> 1X108 |
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氩气压缩比 |
> 1X108 |
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氦气压缩比 |
6X104 |
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氢气压缩比 |
4X103 |
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氮气最大前级真空 |
0.8 hPa |
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根据 PNEUROP 的极限压力 |
< 1X10-7 hPa |
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重量 |
62 kg |
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冷却方法 |
水 |
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冷却水耗量 |
100 l/h |
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冷却水温度 |
15 – 25 °C |
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接口 |
E74, RS-485 |
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最大允许磁场 |
3.4 mT |
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声压水平 |
< 50 dB(A) |
Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 适用领域: 离子注入机, 苛刻工艺
上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 系列凭借紧凑结构和卓越性能, 适用于高真空和超高真空应用.HiPace 涡轮分子泵采用混合或磁悬浮轴承系统, 确保低噪音和低振动运行. 此外, 涡轮分子泵 HiPace 还提供特殊型号, 包括针对氢气等轻质气体压缩的版本, 以及配备耐腐蚀涂层的型号. 这些丰富的专用版本选择, 使 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 为涂层, 半导体制造和分析应用提供更优的解决方案.
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上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐
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