结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式检漏仪到检漏模块, 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 提供无损泄露检测的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s 并提供泄露数据, 数据可用于改善生产工艺. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.
无论泄漏大小, 上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪都能精确跟踪
不论多大或多小的泄漏都逃不过真空检漏仪的检测. 不管是水, 油, 燃料, 制冷剂, 气体, 蒸汽, 空气或是真空的泄漏都能使用检漏仪进行检测. 从微型电子装置到体积庞大的容器, 从真空系统逸出的介质到进入真空系统的气体, 氦质谱检漏仪所使用的范围与普通工业产品的使用范围一样广.
ASM 系列氦质谱检漏仪能够准确定位和量化泄漏, 提高整体工艺的输出质量, 效率和可靠性. 无论是半导体制造业, 还是航空领域, 几乎各个行业都能看到它的身影. 上海伯东根据您的实际应用需求, 提供合适的氦质谱检漏方案, 并提供完善的技术, 售后服务支持. 上海伯东氦质谱检漏仪应用案例 >>
主要型号
技术参数
上海伯东氦质谱检漏仪推荐型号
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型号 |
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图片 |
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特点 |
多功能多用途 |
大抽速移动式 |
吸枪嗅探 |
便携式 |
检漏模块 |
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检漏模式 |
真空 |
真空 |
吸枪 |
真空 |
真空 |
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检测气体 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
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最小检测漏率 Pa m³/s |
真空模式: 5x10-13 |
真空模式: 1X10-13 吸枪模式: 1X10-9 |
吸枪模式: 1X10-8 |
真空模式: 5X10-13 吸枪模式: 1X10-8 |
真空模式: 5x10-13 |
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对氦气的抽速 L/s |
2.5 |
10 |
- |
1.1 |
总泄露模式: 6 常规模式: 1.8 |
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前级泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
35 |
- |
1.7 |
- |
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进气口最大压力 mbar |
25 |
20 |
- |
15 |
总泄漏测试模式 18 常规模式: 1 |
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进气口 |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
- |
DN 25 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
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重量 kg |
56 |
125 |
22 |
21 |
真空模块 14.5，电子模块 4.5 控制 |
