除了兼具 SRG 磁悬浮转子真空计的所有优点外, DosiTorr Extend 特点
可拆卸: 测量头和电子设备分离设计, 耐腐蚀, 抗辐射（紫外线, ……）以及耐高温
根据客户需求选型并测量和安装, 一个磁头可连接多个传感器
可以安装在很小的空间
图形用户操作界面
适用于 OEM 集成 & 评估
全金属, 高精度, 数字真空计
长期稳定: < 每年 1 % 的漂移
测量范围: 10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
替代离子规: 热阴极或冷阴极
典型应用:离子注入, 干法刻蚀, 真空绝缘, 显示面板, 科研, 计量级真空计校准系统
SRG 磁悬浮转子真空计 DosiTorr Extend 测量头和电子设备分离设计
簡介
除了兼具 SRG 磁悬浮转子真空计的所有优点外, DosiTorr Extend 特点
可拆卸: 测量头和电子设备分离设计, 耐腐蚀, 抗辐射（紫外线, ……）以及耐高温
根据客户需求选型并测量和安装, 一个磁头可连接多个传感器
可以安装在很小的空间
图形用户操作界面
适用于 OEM 集成 & 评估
全金属, 高精度, 数字真空计
长期稳定: < 每年 1 % 的漂移
测量范围: 10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
替代离子规: 热阴极或冷阴极
典型应用:离子注入, 干法刻蚀, 真空绝缘, 显示面板, 科研, 计量级真空计校准系统
技术规格
上海伯东德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计 DosiTorr Extend, 测量头和电子设备分离设计, 耐腐蚀, 抗辐射（紫外线, ……）以及耐高温, 无需打开密封的真空腔体, 更便捷的真空系统监测方案, 适用于 OEM 集成.
SRG 磁悬浮转子真空计基本规格
|
测量原理 |
SRG 旋转转子技术 |
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测量范围 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %; |
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长期稳定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
不锈钢 |
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安装方式 |
水平 |
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模拟接口 |
USB Type C, 蓝牙, 15pin |
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数字接口 |
USB, 蓝牙, RS 232, RS 485 |
|
反应时间（快速模式） |
1 秒 |
上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计是一种基于旋转转子压力表技术的新型过程压力计. 与其他真空测量（热阴极或冷阴极, 电容式压力传感器）相比, SRG 磁悬浮转子真空计精度高, 耐腐蚀, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）. 简单的几何形状和不锈钢旋转球, 通过电磁力平滑移动, 适用于各种高纯度气体工艺.
SRG 磁悬浮转子真空计适用于工艺中的连续, 自动, 高真空测量, 并提供多种灵活的解决方案.
DosiTorr: 传感器, 测量头和电子设备集成在一个紧凑的单元中
CaliTorr: 电子测量头可以与真空规分离用于烘烤
DosiTorr 扩展: 测量头和电子设备分离, 便于在空间受限的设备中安装
DosiTorr 配置: 设计用于 1:1 离子规更换配置电接口(即插即用解决方案)
SRG 磁悬浮转子真空计应用
替代离子规: 传统电离式的真空规无法使用的情况
离子注入, 干法刻蚀
在线真空监测
液氮, 液氦高纯气体存储
若您需要进一步的了解 SRG 磁悬浮转子真空计 详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 ) M: +886-939-653-958
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现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
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应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规
可以替代离子规 MKS 903 AP,MKS GP 390,MKS GP 355,Inficon HPG400,Inficon MPG400 等型号
SRG 磁悬浮转子真空计应用优势
耐腐蚀和沉积, 无灯丝设计, 替代传统的离子规(冷阴极离子规或热阴极离子规)
SRG 磁悬浮转子规原理和特点(耐腐蚀,高精度,长期稳定)
SRG 旋转转子是一种高精度且稳定的真空测量技术, 核心感测组件是一个小型磁悬浮的钢球, 透过管件连接到真空系统内
ph-instruments Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计离子注入应用
SRG 磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无污染, 对沉积不敏感. 可替代离子注入工艺中的离子规, 解决常规离子规经常失效, 信号漂移等问题.
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在眼科涂层 Opthalmic Coating 中的应用优势
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在镀膜行业（如光学镀膜, 硬质镀膜）中, 其稳定的真空测量可确保膜层厚度均匀性, 减少批次间差异, 提升镀膜产品光学性能与耐用性.
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在光伏行业 Solar Collectors 中的应用优势
SRG 磁悬浮旋转转子真空计可以在玻璃管内工作, 因此可以将带有球的玻璃管焊接到玻璃真空室, 在制造过程中测量真空度.可用于光伏行业的维护, 制造和测试, 且方便拆卸
SRG 磁悬浮转子真空计替代离子规适用于腐蚀和沉积环境
SRG 高精度磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无灯丝设计, 没有内在的污染源, 不会造成二次电离污染沉积. 完全替代离子规, 提供可靠的, 长期稳定的压力测试, 更适合高污染的严苛工艺环境.
SRG 旋转转子真空规与离子规对比
SRG 旋转转子真空计精度高, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）, 适用于半导体, 低温真空绝热, 高精度真空计校准系统.
VIM-2 磁悬浮转子真空计应用于真空绝缘监测
VIM-2 磁悬浮转子真空计应用于真空绝缘监测, 测量和监控真空绝缘泄漏的压力值, 长期稳定
SRG 磁悬浮转子真空计应用于显示面板腔体测量
磁悬浮转子真空计具有长期的坚固性, 高度准确和稳定的压力读数, 耐腐蚀和沉积, 即使在腐蚀工艺中, 其他仪表可能会漂移和失效, SRG 磁悬浮转子真空计无影响.
SRG 旋转转子真空计测量原理
SRG 旋转转子真空计测量原理,稳定测量优势,固有的抗污染性和坚固设计,高精度和长期稳定性
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