ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规

上海伯东代理德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 可以替代离子规 MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, MKS GP 354, Inficon HPG400, Inficon MPG400 等型号.
ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规

SRG 磁悬浮转子真空计 VS 离子规主要优势

类型	SRG 旋转转子真空规	离子规((冷阴极离子规或热阴极离子规))
精度	1% 读数	约 20% 读数
量程	10 mbar 至 5x10^-7mbar	1x10^-3 mbar 至 1x10^-10mbar
加热真空腔体	机械测量, 无影响	离子规会发热,导致加热真空腔体
电离真空	机械测量, 无影响	离子规会出现离子逃逸,污染真空腔体
读数随时间漂移	<1.5% 每年, 无需校准	漂移显著,需要定期校准
机械稳定性	稳定	不稳定
吸气泵	无	有限的
脱气	无	有限的
温度影响	少	高
超洁净	材质不锈钢, 耐腐蚀	材质多为复合材料, 灯丝容易被污染,因此不耐腐蚀
对气体类型的依赖	少	高
沉积	可以忽略不计	高
对振动的敏感	是	否
使用寿命	长(使用数年)	短(几个月)

SRG 磁悬浮转子真空计 完善的通讯接口, 可视化操作软件, 灵活接入各类真空系统.
SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规

上海伯东代理德国 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 在 0.01 至 1 x 10^-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蚀抗污染, 无灯丝设计, 长期稳定, 无需校准. 替代传统的离子规 (冷阴极离子规或热阴极离子规)

SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.
SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规

若您需要进一步的了解 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958

上海伯东版权所有, 翻拷必究！