2026-01-06 更新
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ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规
上海伯东代理德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 可以替代离子规 MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, Inficon HPG400, Inficon MPG400 等型号.
SRG 磁悬浮转子真空计 VS 离子规主要优势
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类型 |
SRG 旋转转子真空规 |
离子规((冷阴极离子规或热阴极离子规)) |
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精度 |
1% 读数 |
约 20% 读数 |
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量程 |
10 mbar 至 5x10-7mbar |
1x10-3 mbar 至 1x10-10 mbar |
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加热真空腔体 |
机械测量, 无影响 |
离子规会发热,导致加热真空腔体 |
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电离真空 |
机械测量, 无影响 |
离子规会出现离子逃逸,污染真空腔体 |
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读数随时间漂移 |
<1% 每年, 无需校准 |
漂移显著,需要定期校准 |
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机械稳定性 |
稳定 |
不稳定 |
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吸气泵 |
无 |
有限的 |
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脱气 |
无 |
有限的 |
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温度影响 |
少 |
高 |
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超洁净 |
材质不锈钢, 耐腐蚀 |
材质多为复合材料, 灯丝容易被污染,因此不耐腐蚀 |
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对气体类型的依赖 |
少 |
高 |
|
沉积 |
可以忽略不计 |
高 |
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对振动的敏感 |
是 |
否 |
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使用寿命 |
长(使用数年) |
短(几个月) |
SRG 磁悬浮转子真空计 完善的通讯接口, 可视化操作软件, 灵活接入各类真空系统.
上海伯东代理德国 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蚀抗污染, 无灯丝设计, 长期稳定, 无需校准. 替代传统的离子规 (冷阴极离子规或热阴极离子规)
SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.
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