HVA 不锈钢真空层流闸阀 13000系列

上海伯东美国 HVA 不锈钢真空层流闸阀 13000系列具有层流流口孔径, 能有效将阀体与气流隔开. 为了提供更全面的保护,在阀体上部和下部都有安装净化清洗流道以使惰性气体流入来防止工艺气体进入这些区域. HVA 不锈钢真空层流闸阀 13000系列另一个特点是有一个正面的关闭装置使这个真空闸阀可以保持密封的完整性, 甚至在遇到动力随着压力下降而损失的时候.

HVA 不锈钢真空层流闸阀 13000系列广泛应用于半导体领域,比如刻蚀, 化学气相沉积以及任何使用高腐蚀性气体的工艺中

HVA 不锈钢真空层流闸阀 13000 系列

HVA 不锈钢真空层流闸阀 13000系列: 两个分开的支架可以实现100%电导（全开）或者0%电导（全关）. 在打开的位置,一个流孔从流动路程和所有内部部件是隔离开的。这个孔口提供了一个通过发力的清洁的连续的流动路程并且减少了和任何一个阀体装置的工业废气接触. 关闭位置使用一个传统的密封胶圈以产生1x10E-9Torr的真空密封. 线性驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器并且减少旋转密封圈的必要性。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小. 此设计非常有益于半导体制造和其他敏感加工工业要求操作时相对自由振动的.
 

上海伯东美国 HVA 高真空和超高真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！


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