E-Beam 电子束蒸发镀膜机用于在半导体, 光学, 超导材料等行业的研究与生产, 比如基片蒸发沉积金属, 导电薄膜, 半导体薄膜, 铁电薄膜, 光学薄膜和介质材料.

E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRi 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.

HVA 高真空闸阀应用
科研用镀膜机的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求达到 5*10^-7mbar或 5*10^-8mbar, 通过使用高真空阀门对 LOADLOCK 与主腔间进行真空隔离, 一方面不会污染基片, 另一方面也使主腔更好的维持真空, 对于多腔室联用的系统, 同腔室的隔离更为关键, 而且要保证阀门的足够密封, 稳定可靠才行. 上海伯东是美国 HVA 真空阀门中国总代理.

上图为美国 HVA 真空闸阀应用于某知名品牌 Sputtering + E-Beam  PVD 联用系统, 阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.

上海伯东美国 HVA 高真空闸阀 11000 系列产品
尺寸范围: 0.625”-24”ID ( DN 16mm-DN 600mm)
接口类型: CF(英制) / ANSI / KF / ISO-F / CF(公制 )/ JIS / ISO-K多种接口可选
对于气动规格, 电磁阀可选: 24VDC, 120VAC, 220VAC, 24VAC


 

上海伯东美国 HVA 高真空和超高真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！

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