OLED 镀膜机主要面向有机半导体照明客户, 需要镀膜机性能更稳定, 器件效率更高, 性价比高,

HVA 高真空闸阀应用
一般科研用镀膜机的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求达到 5*10^-7mbar 或 5*10^-8mbar, 这时需要配置分子泵系统或低温泵系统来实现高真空度的需求, 所以对于生产 OLED 镀膜机的客户, 为了节省抽空时间和防止基片的污染, 会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样, 由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.

有时科研设备并不配置 LOADLOCK, 但出于泵组快速抽空或方便检修要求, 还是会根据分子泵的进气口径来配置高真空阀门隔离系统. 上海伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机


上图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 高真空闸阀 11000 系列, 我司根据镀膜系统的自动化要求, 配置 HVA 11000 系列尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,
 

上海伯东美国 HVA 高真空闸阀 11000 系列产品

上海伯东美国 HVA 高真空和超高真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！

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