1. 机械预设, 遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装
HVA 3位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 口径:DN100-320 mm
技术规格
上海伯东 HVA 3位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀, CVD, 真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业. HVA 3位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时, 提供异常压力控制功能, 该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡. HVA 3位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式: 一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启, 另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置. 21700 系列3位真空闸阀广泛应用于低温泵, 涡轮分子泵, 及其他对清洁度要求高, 低除气的高真空行业.
HVA 3位真空闸阀 21700 系列产品特点
1. 机械预设, 遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装
HVA 3位真空闸阀 21700 系列技术参数：
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阀门材质： |
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阀门主体 |
304不锈钢 |
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焊接波纹管轴封 |
AM-350 |
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驱动轴和驱动销 |
硬质不绣钢 |
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阀门密封方式： |
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高真空 |
氟橡胶 |
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漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
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差压关闭 |
1 bar |
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真空： |
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压力范围 |
高真空1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差压关闭 |
1 bar (任意位置) |
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开启前最大压力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤温度（不含电磁阀）： |
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阀门主体 |
150 °c |
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驱动方式 |
气动 60 °c |
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使用寿命：100,000启闭次数 |
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公称通径：DN100-320 mm |
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美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门，超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀，高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
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