半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统 ( 真空管路 ) 的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中! 上海伯东是美国 HVA 插板阀在中国地区唯一指定总代理商.

                                 半导体管道插板阀应用示意图                                                                       现场图



上海伯东美国 HVA 插板阀优势
1. 满足高真空（1E10-9  mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）应用
2. HVA 插板阀口径 DN 16 至 800 mm
3. 坚固耐用, 超长使用寿命, 可达 1,000,000 启动次数
4. 清洁和高密封性保证 HVA 插板阀与前级泵, 涡轮分子泵等完美联用
5. 双向密封,最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S
6. 可选择驱动方式多, 手, 气,电动可选
7. 有效保护分子泵. 气动和电动插板阀均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用
8. 标准或定制法兰满足不同应用
9. 国际标准, 插板阀整机美国设计, 制造, 组装, 原装进口

美国 HVA 超过 40年的阀门研发生产经验, 与友厂对比, HVA 插板阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.

上海伯东美国 HVA 高真空和超高真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！

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上海伯东美国 HVA 真空插板阀应用于半导体管道中