美国 HVA 不锈钢百万周期真空闸阀 21200 系列

簡介

不锈钢材质的百万周期真空闸阀 1,000,000 启闭次数
阀门口径 DN 16 -320 mm
烘烤温度不超过 150°C
任意位置安装
电磁阀控制并带有手动超控
阀门真空腔内没有机械锁, 特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业

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技术规格

上海伯东美国 HVA 不锈钢百万周期真空闸阀 21200 系列特别适合 1x10^{- 9} mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用. 阀门真空腔内没有机械锁, 这对于需要无振动运行的半导体及精密工艺而言极为有利. HVA 21200 系列闸阀所有活动部件都配有硬化轴, 可以减少颗粒物的产生, 并使动作更加顺畅.

HVA 不锈钢百万周期真空闸阀 21200 系列超长使用寿命 1,000,000 启动次数, 清洁和高密封性保证 HVA 闸阀适用于低温泵, 涡轮分子泵, 离子泵以及其他需要清洁, 高循环次数, 低放气量的阀门应用.

HVA 不锈钢百万周期真空闸阀 21200 系列特点
直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器. 独特的气缸设计使冲击和振动减少到更小.阀门真空腔内没有机械锁, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业. 所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易.

HVA 不锈钢百万周期真空闸阀 21200 系列技术参数

阀门材质：
阀门主体	304不锈钢
焊接波纹管轴封	AM-350
驱动轴和驱动销	硬质不绣钢
密封件	氟橡胶
真空：
压力范围	1x10^-9 mbar
漏率	< 2x10^-9 mbar l/S
差压关闭	1 bar (任意位置)
开启前最大压力	≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）：
佛橡胶密封	150 °c
驱动方式	手动 60 °c;气动 60 °c
使用寿命：1,000,000启闭次数
公称通径：DN16-320 mm

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