美国 HVA 不锈钢严苛工艺真空闸阀 71000 系列

簡介

不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子
使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
高压和机械加工的不锈钢阀体
真空闸阀口径 DN 50-200 mm
手动或气动控制
标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
真空闸阀最大烘烤温度 250°C
满足 MOCVD, ALD, PECVD 强腐蚀性化学物质和高温环境的工艺需求

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技术规格

上海伯东美国 HVA 不锈钢严苛工艺真空闸阀 71000 系列是专为最苛刻的真空环境而设计. 在诸如 MOCVD, ALD, PECVD 这样的极端恶劣应用环境中, 真空阀门会暴露在强腐蚀性化学物质和高温环境中. 这些副产品可能会对轮/轴承, 连杆的运作造成影响, 并可能导致阀门卡住. 因此, HVA 不锈钢严苛工艺真空闸阀 71000 系列设计采用了无活动部件且与工艺过程完全隔离的波纹管来解决这一问题.

HVA 71000系列阀门采用了坚固的双重密封设计, 以提高安全性; 其密封波纹管与工艺流程完全隔离,从而减少了维护工作量; 便于现场清洁和 O 型圈更换, 可减少停机时间; 还提供了一个可选的集成软泵功能,以减少颗粒污染.

HVA 不锈钢严苛工艺真空闸阀 71000 系列参数:

阀门材质:
- 阀门主体	304 不锈钢
- 焊接波纹管轴封	AM - 350
阀门密封方式
- 高真空	氟橡胶
真空:
- 压力范围	高真空 1x10^-9 mbar
- 漏率	< 2x10^-9 mbar l/S
- 差压关闭	2 bar (任意位置)
- 开启前最大压力	≤ 1 bar
烘烤温度（不含电磁阀）:
- 佛橡胶密封	150 °c, 可选配置最大 250 °c
- 驱动方式	手动 60 °c, 气动 60 °c
- 气体	80 psig (5.5 bar)
- 电磁	4.0 Watts
- 供电	120 VAC 50 /60 Hz
- 可选电压	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
- 位置指示器,最大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
使用寿命: > 250,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)
公称通径: DN 50 - 200 mm

上海伯东美国 HVA 高真空和超高真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！

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