上海伯东美国 HVA 真空阀门中国总代理, HVA 真空插板阀 11000 系列专为高真空应用而设计, 广泛应用于真空溅射炉中.

一、HVA 真空插板阀在真空溅射炉中的应用优势
真空溅射炉（磁控溅射镀膜设备）是半导体, 光伏及光学薄膜制备的核心装备, 其工艺要求在高真空（10⁻⁵~10⁻⁷ Pa）环境下进行. HVA 插板阀作为真空系统中的关键截断元件, 主要负责腔体与泵组, 腔体与腔体之间的隔离与连通, 其性能直接决定系统的抽气效率, 真空度保持能力及工艺稳定性.

HVA 11000 系列真空闸阀独特的气缸设计保证最低的冲击和振动, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性,消除了虚漏和缺陷部分.

HVA 真空插板阀 11000 系列泄漏率  < 2x10^-9  mbar l/S
压力范围: 高真空 1x10^-9 mbar, 超高真空 1x10^-10 mbar
HVA 阀门主体和内部组件采用 304 不锈钢材质,低放气率
阀门口径 DN 16 - 800 mm, 手动或气动驱动
不绣钢焊接波纹管, 标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
常规 200°c 最高 250 °c
坚固耐用, 达到设定的真空度时, 气动阀门自动开闭, 有purge 接口
任意位置安装


二、HVA 真空插板阀在真空溅射炉中的核心作用:
1. 腔体隔离与真空维持: 在溅射工艺进行或腔体保压时, HVA 插板阀用于切断主腔体与预抽室, 传输室或泵组的连接, 防止大气回流或交叉污染m 维持各区段独立的真空度.

2. 泵组保护与压差调节: 安装于主腔体与分子泵之间, 通过调节开度（部分电动调节阀）或全开/全闭控制气流导通面积, 辅助稳定工作气压, 并在维护时隔离泵组免受腔体侧粉尘或工艺气体腐蚀

3. 气锁与连续生产（多室设备）: 在具备进/出料室的连续溅射生产线中，插板阀作为气锁闸门, 实现基板传输时的分段抽气与隔离, 避免破坏主溅射室的超高真空环境

4. 安全互锁与防倒灌: 当断电或紧急停机时, 气动/电动插板阀依靠弹簧复位或闭锁机构快速关闭, 防止前级大气瞬间倒灌击穿腔体或污染靶材

上海伯东美国 HVA 高真空和超高真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀现已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！

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