Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 800

簡介

稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证

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技术规格

上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 800, 抽速可达 790 l/s 的涡轮分子泵. 分子泵占地面积小, 高气通量和高抽吸能力. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器, 监控运算数据保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 800 可选控制器 TC 400 或 TCP 350, 另有分子泵 HiPace 800P 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域. 对标 Edwards STP 磁悬浮分子泵.

涡轮分子泵 HiPace 800 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证

涡轮分子泵 HiPace 800 技术参数

分子泵型号	接口 DN		抽速 l/s			压缩比	最高启动压强mbar	极限压力	全转速气体流量hPa l/s	启动时间	重量
分子泵型号	进气口	排气口	氮气 N₂	氦气He	氢气 H₂	氮气 N₂	氮气N₂	hPa	氮气N₂	min	kg
HiPace 800 HiPace 800 P	200	25	790	700	580	> 1X10¹¹	11	< 1X10^–7	6.5	2	12.8 – 19.1

涡轮分子泵 HiPace 800 P 系列, 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域.

涡轮分子泵应用 HiPace 800 应用
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD
工业: 灯管制造
研发: 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection

涡轮分子泵 HiPace 800 尺寸图：

上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>