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ATH 2303M 任意角度安装
CE标志和通过无铅认证
Holweck 五轴控制全磁浮轴承
分子泵转速 31,000 rpm，氮气压缩比 > 1X108
水冷
或直接联络客服: 139-1883-7267
全磁浮分子泵 ATH 2303 M 氮气抽速: 2150 l/s
技术规格
上海伯东 Adixen by Pfeiffer 全磁浮涡轮分子泵 ATH 2300 M, 对氮气的抽速最高可达 2150 l/s, 极限真空 < 6X10-9 hPa, 集成分子泵控制器 OBC 或外部 Magpower 控制器. 全磁浮涡轮分子泵核心科技是 Holweck 五轴控制全磁浮轴承, 免维护, 无需润滑, 保证
Pfeiffer 普发全磁浮涡轮分子泵 ATH 2300 M 技术参数：
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分子泵型号 |
进气法兰 |
抽速 |
控制器 |
极限真空 hPa |
压缩比 N2 |
前级真空 N2 hPa |
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ATH 2300 MT |
DN 250 CF-F |
2150 |
Magpower |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.8 |
|
DN 250 ISO-F |
2150 |
Magpower |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.8 |
|
|
ATH 2303 M |
DN 250 CF-F |
2150 |
Magpower |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
|
DN 250 ISO-F |
2150 |
Magpower |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
|
|
ATH 2303 M |
DN 250 CF-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
|
DN 250 ISO-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
|
|
ATH 2303 M |
DN 250 CF-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
|
DN 250 ISO-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
|
|
ATH 2303 M |
DN 250 CF-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
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DN 250 ISO-F |
2150 |
OBC V4 |
< 6X10-9 |
> 1X108 |
2.9 |
* MT:可加热
凭借磁悬浮轴承实现免维护, 低噪音, 低振动
上海伯东 Pfeiffer 普发全磁浮分子泵专为半导体制造, 工业应用和研发等严苛应用设计, 其工作原理基于高速转子技术, 通过电磁作用结合精密电子控制系统, 使转子悬浮旋转, 避免与泵体接触. 这种非接触式运转消除了摩擦, 不仅可以防止涡轮分子泵的部件磨损, 还实现了免维护, 同时降低了运行噪音和振动水平. 这使得全磁浮分子泵 ATH-M 和 ATP-M 特别适用于对振动敏感的半导体制造等应用.
若您需要进一步的了解 Pfeiffer 普发全磁浮分子泵详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 ) M: +886-939-653-958
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